一种电子级二甲基亚砜制备方法技术

本发明专利技术涉及一种电子级二甲基亚砜制备方法。该方法步骤如下：取含量不小于99mol％的硫化氢，与纯度99.9％甲醇同时送至反应器中混合，混合比例为硫化氢：甲醇＝1:0.9，加热至95℃±2℃，使得混合物进行气化反应，将混合气输送至装有γ‑Al

【技术实现步骤摘要】
一种电子级二甲基亚砜制备方法
：本专利技术涉及一种电子级二甲基亚砜制备方法。
技术介绍
：电子级二甲基亚砜应用领域为半导体、显示面板、太阳能电池等技术密集型行业，按照应用领域不同，对产品的纯度、洁净度也有极高的要求，具体应用如下：一、在晶圆制造过程中，(EL-DMSO)电子级二甲基亚砜主要用于清洗颗粒、有机残留物、金属离子、自然氧化层等污染物。二、通过蚀刻液与特定薄膜材料发生化学反应，从而除去光刻胶未覆盖区域的薄膜，实现图形转移，获得器件的结构。三、(EL-DMSO)电子级二甲基亚砜也应用于后段高端封装领域的清洗、溅射、黄光、蚀刻等工艺环节。半导体对(EL-DMSO)电子级二甲基亚砜的微量金属杂质含量、颗粒粒径和数量、阴离子杂质含量等方面有严格要求。根据SEMI(国际半导体产业协会)标准，应用于半导体领域的湿电子化学品集中在SEMIG3、G4水平，且集成电路线宽越窄，所需标准越高。目前，现有二甲基亚砜制备工艺生产条件难以控制且风险大，辅助原料众多，致使单耗高，制得产品含量低，使得工业化生产难度大、生产成本高。尤其是所有技术对金属本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电子级二甲基亚砜制备方法，其特征在于：该方法步骤如下：/n取含量不小于99mol％的硫化氢，与纯度99.9％甲醇同时送至反应器中混合，混合比例为硫化氢：甲醇＝1:0.9，加热至95℃±2℃，使得混合物进行气化反应，将混合气输送至装有γ-Al

【技术特征摘要】
1.一种电子级二甲基亚砜制备方法，其特征在于：该方法步骤如下：
取含量不小于99mol％的硫化氢，与纯度99.9％甲醇同时送至反应器中混合，混合比例为硫化氢：甲醇＝1:0.9，加热至95℃±2℃，使得混合物进行气化反应，将混合气输送至装有γ-Al2O3反应器中，进行合成反应，反应温度366℃±2℃，反应时间为2.0秒±0.5秒，将反应所得合成气经8℃±1℃冷却换热，冷却液进入分水器进行硫醚和水分离；
所得中间体送至一次精馏反应器，截取35℃±2℃馏分，将一次精馏后的中间体连续送至二次精馏反应器进行二次精馏，截取38℃±1℃馏分；
将二次精馏后所得中间体送至装有NO2催化剂的反应器中进行氧化反应，其中NO2含量大于99.8％，上述反应器中加入含量为98％以上的氧气，对中间体进行液态氧化，时间为6秒±1秒，此时反应器内氧化生成二甲基亚砜，反应为放热反应，为去除剩余的反应热，使用10℃±2℃低温水冷却；
将二甲基亚砜送入蒸发反应器，蒸发反应器压力为-0.098/MPaG±0.002/MPa...

【专利技术属性】
技术研发人员：冷冰，
申请(专利权)人：冷冰，
类型：发明
国别省市：辽宁;21