一种用于硅片清洗机的传送装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于硅片清洗机的传送装置，包括轨道和活动板，所述轨道的底部安装有活动板，所述活动板的底部安装有送料机构；所述送料机构包括第一电动推杆、固定板、方杆、滑环和挂钩，所述活动板的底部两侧均安装有第一电动推杆，所述第一电动推杆的底部固定连接有固定板，两组所述固定板的内壁通过方杆固定连接，所述方杆的外壁套装有与方杆适配的滑环，所述滑环的底部固定连接有挂钩。本实用新型专利技术通过多组挂钩对多组料篮进行连接，然后根据刻度条调节料篮之间的距离，使得然后利用第二电动推杆和第一电动推杆工作，使得料篮进入对应的清洗槽内，从而使得能够进行多组同时清洗，有效的提高了操作的效率，节省了劳动力。

【技术实现步骤摘要】
一种用于硅片清洗机的传送装置
本技术涉及硅片清洗
，具体为一种用于硅片清洗机的传送装置。
技术介绍
在对硅片进行清洗的时候，需要利用料篮将硅片进行盛放，然后人工将料篮放入清洗槽进行清洗即可，清洗结束人工将料篮取出，然后移动至烘干设备处进行烘干即可。目前，现有的用于硅片清洗机的传送装置还存在着一些不足的地方，例如；现有的对料篮以及硅片进行移动和传送是通过人工进行操作，操作效率低下，而且长期工作使得劳动强度高，同时料篮在移动的过程中，清洗液会滴落造成对周围环境的污染。为此，需要设计新的技术方案给予解决。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于硅片清洗机的传送装置，解决了
技术介绍
中所提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于硅片清洗机的传送装置，包括轨道和活动板，所述轨道的底部安装有活动板，所述活动板的底部安装有送料机构；所述送料机构包括第一电动推杆、固定板、方杆、滑环和挂钩，所述活动板的底部两侧均安装有第一电动推杆，所述第一电动推杆的底部固定连接有固定板，两组所述固定板的内壁通过方本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于硅片清洗机的传送装置，包括轨道(1)和活动板(2)，其特征在于：所述轨道(1)的底部安装有活动板(2)，所述活动板(2)的底部安装有送料机构；/n所述送料机构包括第一电动推杆(5)、固定板(6)、方杆(7)、滑环(8)和挂钩(9)，所述活动板(2)的底部两侧均安装有第一电动推杆(5)，所述第一电动推杆(5)的底部固定连接有固定板(6)，两组所述固定板(6)的内壁通过方杆(7)固定连接，所述方杆(7)的外壁套装有与方杆(7)适配的滑环(8)，所述滑环(8)的底部固定连接有挂钩(9)。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于硅片清洗机的传送装置，包括轨道(1)和活动板(2)，其特征在于：所述轨道(1)的底部安装有活动板(2)，所述活动板(2)的底部安装有送料机构；
所述送料机构包括第一电动推杆(5)、固定板(6)、方杆(7)、滑环(8)和挂钩(9)，所述活动板(2)的底部两侧均安装有第一电动推杆(5)，所述第一电动推杆(5)的底部固定连接有固定板(6)，两组所述固定板(6)的内壁通过方杆(7)固定连接，所述方杆(7)的外壁套装有与方杆(7)适配的滑环(8)，所述滑环(8)的底部固定连接有挂钩(9)。


2.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗机的传送装置，其特征在于：所述活动板(2)的两端均固定连接有支杆(3)，两组所述支杆(3)的顶部分别和挡板(4)的顶部两侧固定连接，所述挡板(4)的顶部可拆卸式连接有收液盘(10)。


3.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：贺立超，张银鹏，刘向荣，周易芳，彭云祥，
申请(专利权)人：宇泽江西半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江西;36