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本实用新型公开了一种用于硅片清洗机的传送装置，包括轨道和活动板，所述轨道的底部安装有活动板，所述活动板的底部安装有送料机构；所述送料机构包括第一电动推杆、固定板、方杆、滑环和挂钩，所述活动板的底部两侧均安装有第一电动推杆，所述第一电动推杆的...
该专利属于宇泽(江西)半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宇泽(江西)半导体有限公司授权不得商用。

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