【技术实现步骤摘要】
一种双压电体并排惯性驱动的片型旋转马达及扫描探针显微镜
本技术涉及一种压电马达，特别涉及一种双压电体并排惯性驱动的片型旋转马达，属于压电定位器
技术介绍
在外电场作用下，压电材料会在一定方向上产生机械形变或机械应力，当外电场反向时，此形变或应力也随之反向，这种效应称为逆压电效应。研究发现，压电陶瓷材料在电压下产生的位移非常精细，在微纳米量级，且振动或伸缩的幅值很微小，因此压电陶瓷材料具有较高的定位精度。然而，直接利用压电陶瓷材料的逆压电效应产生的形变量处于微纳米量级，所以难以在宏观上进行较大范围的移动。利用压电陶瓷材料制成的压电马达(PM)，通过重复形变可以产生宏观可见的位移，从而能够同时实现较高的定位精度和较大的移动范围。压电马达按运动方式可分为直线型和旋转型压电马达。目前，压电马达已广泛应用于精密机械、纳米器件加工、原子/分子操纵、乃至亚原子结构成像等领域。同时，压电马达作为一种新型的压电步进器，正逐步朝着小尺寸、大推力、高紧凑和高定位精度以及抗恶劣条件的方向发展，并取到了显著地进步。例如，应用在尖端测...
【技术保护点】
1.一种双压电体并排惯性驱动的片型旋转马达，包括第一压电体、第二压电体、基座，所述第一压电体与第二压电体按照形变方向平行固定于基座，其特征是所述第一压电体与第二压电体均为片状的伸缩压电体，它们为等厚共面设置，构成双驱动压电片，/n还包括转盘片、转轴、第一压臂、第二压臂，/n所述转轴垂直于转盘片的盘面并固定于转盘片中心，构成共轴旋转结构，/n所述第一压臂与第二压臂的一端分别固定于第一压电体与第二压电体的自由端，第一压臂与第二压臂平行并都在所述双驱动压电片的同一侧，且都平行于第一压电体与第二压电体的形变方向，第一压臂与第二压臂的另一端都指向基座，并分别作为夹持端，弹性地夹持住所...
【技术特征摘要】
1.一种双压电体并排惯性驱动的片型旋转马达，包括第一压电体、第二压电体、基座，所述第一压电体与第二压电体按照形变方向平行固定于基座，其特征是所述第一压电体与第二压电体均为片状的伸缩压电体，它们为等厚共面设置，构成双驱动压电片，
还包括转盘片、转轴、第一压臂、第二压臂，
所述转轴垂直于转盘片的盘面并固定于转盘片中心，构成共轴旋转结构，
所述第一压臂与第二压臂的一端分别固定于第一压电体与第二压电体的自由端，第一压臂与第二压臂平行并都在所述双驱动压电片的同一侧，且都平行于第一压电体与第二压电体的形变方向，第一压臂与第二压臂的另一端都指向基座，并分别作为夹持端，弹性地夹持住所述转盘片的边缘，
所述第一压电体和第二压电体的形变方向以及第一压臂和第二压臂均平行于转盘片的盘面，所述转轴为对外的力矩输出轴。
2.根据权利要求1所述双压电体并排惯性驱动的片型旋转马达，其特征是所述第一压电体和第二压电体互相靠近的一边各带有一个缺口，这两个缺口围合成孔型，称为转轴孔，所述转轴穿过转轴孔对外输出力矩。
3.根据权利要求2所述双压电体并排惯性驱动的片型旋转马达，其特征是还包括第三压电体、第四压电体、第三压臂、第四压臂，所述第三压电体与第四压电体按照形变方向平行固定于基座，第一压电体、第二压电体、第三压电体与第四压电体的形变方向均相同，
所述第三压电体与第四压电体均为片状的伸缩压电体，它们为等厚共面设置，构成第二双驱动压电片，所述第二双驱动压电片平行于所述双驱动压电片和转盘片，且处于转盘片的外侧，
所述第三压臂与第四压臂的一端分别固定于第三压电体与第四压电体的自由端，第三压臂和第四压臂平行且平行于第三压电体和第四压电体的形变方向，第三压臂和第四压臂分别处于第三压电体和第四压电体的内侧，第三压臂、第四压臂的另一端都指向基座，并分别作为夹持端，弹性地夹持住所述转盘片的边缘，
所述第三压电体和第四压电体的形变方向以及第三压臂和第四压臂均平行于转盘片的盘面。
4.根据权利要求3所述双压电体并排惯性驱动的片型旋转马达，其特征是所述第三压臂和第四压臂的自由端分别与第一压臂和第二压臂的自由端固定连接。
5.根据权利要求3或4所述双压电体并排惯性驱动的片型旋转马达，...
【专利技术属性】
技术研发人员：谢彩红，陆轻铀，
申请(专利权)人：合肥中科微力科技有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34
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