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本实用新型双压电体并排惯性驱动的片型旋转马达及扫描探针显微镜，包括第一压电体、第二压电体、基座、转盘片、转轴、第一压臂、第二压臂，第一压电体与第二压电体按照形变方向平行固定于基座，两压电体均为片状的伸缩压电体，它们为等厚共面设置，构成双驱动...
该专利属于合肥中科微力科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥中科微力科技有限公司授权不得商用。

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