【技术实现步骤摘要】
一种集成电路清洗用离子水电阻率检测装置
本技术涉及一种集成电路生产用检测装置，具体涉及一种集成电路清洗用离子水电阻率检测装置。
技术介绍
在集成电路的生产过程中，需要大量的离子水进行清洗，并在清洗后检测离子水的电阻率，一般要求离子水电阻率大于15MΩ.CM，现有的检测手段一般在离子水排液管内安装电阻率检测探头，电阻率检测探头直接对离子水排液管内流动的离子水直接进行检测，由于离子水排液管内有大量空气，离子水流动过程受空气氧化影响，使得电阻率检测仪器测量结果不准。
技术实现思路
本技术的目的是针对现有技术存在的问题提供一种测量准确的集成电路清洗用离子水电阻率检测装置。本技术的具体技术方案如下：一种集成电路清洗用离子水电阻率检测装置，包括离子水排液管、检测竖管和液体介质电阻率检测仪，所述离子水排液管由依次连接的进液横管、排液竖管、排液横管组成，所述检测竖管两端分别与进液横管和排液横管的管身连通，所述检测竖管与排液横管的连通端设有阻水阀，所述液体介质电阻率检测仪的感应探头伸入检测竖管内。进一步的，所述检测竖管为S形弯管；进一步的，所述检测竖管与排液横管的连通端为连接支管，所述连接支管的两端分别与检测竖管与排液横管的管身连通，所述连接支管与检测竖管的连接口高于感应探头。本技术具有以下有益效果：本技术在离子水排液管的管段上加装检测竖管，检测竖管对离子水进行收集并排出其内空气，最大化降低空气对离子水的影响，保证液体介质电阻率检测仪的电阻检测的准确性。附...
【技术保护点】
1.一种集成电路清洗用离子水电阻率检测装置，其特征在于：包括离子水排液管(1)、检测竖管(2)和液体介质电阻率检测仪(3)，所述离子水排液管(1)由依次连接的进液横管(1-1)、排液竖管(1-2)、排液横管(1-3)组成，所述检测竖管(2)两端分别与进液横管(1-1)和排液横管(1-3)的管身连通，所述检测竖管(2)与排液横管(1-3)的连通端设有阻水阀(4)，所述液体介质电阻率检测仪(3)的感应探头(5)伸入检测竖管(2)内。/n
【技术特征摘要】
1.一种集成电路清洗用离子水电阻率检测装置，其特征在于：包括离子水排液管(1)、检测竖管(2)和液体介质电阻率检测仪(3)，所述离子水排液管(1)由依次连接的进液横管(1-1)、排液竖管(1-2)、排液横管(1-3)组成，所述检测竖管(2)两端分别与进液横管(1-1)和排液横管(1-3)的管身连通，所述检测竖管(2)与排液横管(1-3)的连通端设有阻水阀(4)，所述液体介质电阻率检测仪(3)的感应探头(5)伸入检测竖管(2)内。...
【专利技术属性】
技术研发人员：李应龙，
申请(专利权)人：天水天光半导体有限责任公司，
类型：新型
国别省市：甘肃;62
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