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本实用新型涉及一种集成电路生产用检测装置，具体涉及一种集成电路清洗用离子水电阻率检测装置。包括离子水排液管、检测竖管和液体介质电阻率检测仪，所述离子水排液管由依次连接的进液横管、排液竖管、排液横管组成，所述检测竖管两端分别与进液横管和排液横...
该专利属于天水天光半导体有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过天水天光半导体有限责任公司授权不得商用。

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