一种具有交替光栅和石墨烯复合结构的传感器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种具有交替光栅和石墨烯复合结构的传感器，包括：基底硅层；铝膜层，覆盖在所述基底硅层的上表面；交替光栅，覆盖在所述铝膜层的上表面，所述交替光栅包括，多条相间隔的贵金属介质光栅，相邻的两条所述贵金属介质光栅之间形成条状的容纳空间；二氧化硅介质光栅，设置在相邻的两条贵金属介质光栅之间且充满所述容纳空间；二氧化硅介质层，覆盖在所述交替光栅的上表面；石墨烯层，覆盖在所述二氧化硅介质层的上表面。本实用新型专利技术中，基于左边频和窄脉冲对环境折射率的敏感度不同，利用两者的吸收峰波长作为信息载体，可借助矩阵方程获得消除温度影响的折射率传感灵敏度。

【技术实现步骤摘要】
一种具有交替光栅和石墨烯复合结构的传感器
本技术涉及电磁超材料传感器
，尤其涉及一种具有交替光栅和石墨烯复合结构的传感器。
技术介绍
电磁超材料(ElectromagneticMetamaterial)传感器是近年来迅速发展起来的一种光学检测技术，因其可突破传统传感器的分辨率极限，又具有原理简单、待测物无需纯化、能实时、高精度地检测动态反应过程等优点，被广泛用于高分辨率生物成像、环境检测、药物分析和食品安全等诸多领域。随着研究的深入，超材料传感器已开发出多种典型结构，如多层介质耦合结构、光栅耦合结构和法布里-波罗腔结构等。其中，光栅耦合结构，由于具有结构多样性，可实现高吸收和窄带光谱特性，谐振波长对环境参量更为敏感，在波长调制型光学折射率传感应用领域倍受关注。但实际浓度或折射率传感应用中存在温度等其它影响因素的干扰，会使测量结果出现较大偏差，且灵敏度越高影响越大。因此结构简单、成本低廉、更具实用性的光栅型超材料传感器的设计和开发亟待更深入的研究和探索。
技术实现思路
针对现有技术的上述不足，本技术所要解决的技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有交替光栅和石墨烯复合结构的传感器，其特征在于，包括：/n基底硅层；/n铝膜层，覆盖在所述基底硅层的上表面；/n交替光栅，覆盖在所述铝膜层的上表面，所述交替光栅包括，多条相间隔的贵金属介质光栅，相邻的两条所述贵金属介质光栅之间形成条状的容纳空间；二氧化硅介质光栅，设置在相邻的两条贵金属介质光栅之间且充满所述容纳空间；/n二氧化硅介质层，覆盖在所述交替光栅的上表面；/n石墨烯层，覆盖在所述二氧化硅介质层的上表面。/n

【技术特征摘要】
1.一种具有交替光栅和石墨烯复合结构的传感器，其特征在于，包括：
基底硅层；
铝膜层，覆盖在所述基底硅层的上表面；
交替光栅，覆盖在所述铝膜层的上表面，所述交替光栅包括，多条相间隔的贵金属介质光栅，相邻的两条所述贵金属介质光栅之间形成条状的容纳空间；二氧化硅介质光栅，设置在相邻的两条贵金属介质光栅之间且充满所述容纳空间；
二氧化硅介质层，覆盖在所述交替光栅的上表面；
石墨烯层，覆盖在所述二氧化硅介质层的上表面。


2.根据权利要求1所述的一种具有交替光栅和石墨烯复合结构的传感器，其特征在于，
所述贵金属介质光栅的宽度大于所述二氧化硅介质光栅的宽度。


3.根据权利要求1或2任一项所述的一种具有交替光栅和石墨烯复合结构的传感器，其特征在于，
所述贵金属介质光栅材料为金。


4.根据权利要求1或2任...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵洪霞，程培红，丁志群，
申请(专利权)人：宁波工程学院，
类型：新型
国别省市：浙江;33