下载一种具有交替光栅和石墨烯复合结构的传感器的技术资料

文档序号:26431226

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本实用新型公开了一种具有交替光栅和石墨烯复合结构的传感器,包括:基底硅层;铝膜层,覆盖在所述基底硅层的上表面;交替光栅,覆盖在所述铝膜层的上表面,所述交替光栅包括,多条相间隔的贵金属介质光栅,相邻的两条所述贵金属介质光栅之间形成条状的容纳空...
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