氦液化及不同温度等级氦气冷源供给装置制造方法及图纸

一种氦液化及不同温度等级氦气冷源供给装置，它包括集成换热器、氦气压缩机、高/低温氦气膨胀机、J‑T节流阀、真空杜瓦罐、气液分离罐、流路截止阀，其特征在于所述氦气压缩机进口分别连接氦气缓冲罐进口、截止阀进口、复温氦气截止阀出口、氦气补充截止阀出口，氦气补充截止阀进口连接氦气源，所述氦气压缩机出口通过压缩氦气止回阀分别连接氦气缓冲罐出口截止阀出口、水冷却器进口，它具有结构合理，使用控制方便，结构简单，从而降低使用成本，提高工作效率等特点。

【技术实现步骤摘要】
氦液化及不同温度等级氦气冷源供给装置
本技术涉及的是一种氦液化及不同温度等级氦气冷源供给装置，属于氦液化制造领域。
技术介绍
随着我国尖端科研装置的不断建造和发展，带动并加速了低温技术的发展和成熟。氦液化装置可以给先进科研设备提供极低温环境，同时也可为高度真空环境的模拟提供所需冷量。近些年，液氦作为工质的制冷系统在低温领域中使用逐渐普及。但我国目前只有极少数科研机构有小型氦液化设备使用，输出冷量小（一般为几十瓦到数百瓦），制冷效率低，而且不能实现多温度序列的氦冷媒输出。本技术装置通过氦气液氮预冷、氦气膨胀机二级膨胀制冷，以及J-T节流实现氦液化和不同温度序列的氦气冷源输出，可满足不同深冷设备对氦气冷源的需求。
技术实现思路
本技术一种氦液化及不同温度等级氦冷源供给技术及装置，通过压缩氦气液氮预冷，高低温膨胀机双级膨胀制冷以及J-T节流制冷获得液氦和超临界氦、以及不同温度等级的氦冷源。本技术利用一个集成换热设备得到常压液氦和超临界氦，以及不同温度序列的氦气冷源，以满足不同深冷设备对氦气冷源的需求，本技术的目的是通过下述技术方案本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种氦液化及不同温度等级氦气冷源供给装置，它包括集成换热器、氦气压缩机、高/低温氦气膨胀机、J-T节流阀、真空杜瓦罐、气液分离罐、流路截止阀，其特征在于所述氦气压缩机（1）进口分别连接氦气缓冲罐（3）进口、第一截止阀（2）进口、复温氦气截止阀（7）出口、氦气补充截止阀（78）出口，氦气补充截止阀（78）进口连接氦气源，所述氦气压缩机（1）出口通过压缩氦气止回阀（4）分别连接氦气缓冲罐（3）一级出口截止阀（5）出口、水冷却器（6）进口，水冷却器（6）出口通过压缩氦气截止阀（8）连接集成换热器（9）热端进口HXI1，所述集成换热器（9）热端出口HXO1分别连接高温杂质吸附器（11）、一级进口截...

【技术特征摘要】
1.一种氦液化及不同温度等级氦气冷源供给装置，它包括集成换热器、氦气压缩机、高/低温氦气膨胀机、J-T节流阀、真空杜瓦罐、气液分离罐、流路截止阀，其特征在于所述氦气压缩机（1）进口分别连接氦气缓冲罐（3）进口、第一截止阀（2）进口、复温氦气截止阀（7）出口、氦气补充截止阀（78）出口，氦气补充截止阀（78）进口连接氦气源，所述氦气压缩机（1）出口通过压缩氦气止回阀（4）分别连接氦气缓冲罐（3）一级出口截止阀（5）出口、水冷却器（6）进口，水冷却器（6）出口通过压缩氦气截止阀（8）连接集成换热器（9）热端进口HXI1，所述集成换热器（9）热端出口HXO1分别连接高温杂质吸附器（11）、一级进口截止阀（10）进口、旁通截止阀（12）进口;一级进口截止阀（10）出口连接高温杂质吸附器（11）连接二级出口截止阀（13）进口，二级出口截止阀（13）出口分别连接旁通截止阀（12）出口、集成换热器（9）热端进口HXI2、第十七截止阀（34）进口;集成换热器（9）热端出口HXO2分别连接集成换热器（9）热端进口HXI3、高温膨胀机（14）进口第八截止阀（15）进口、第十八截止阀（35）进口;第八截止阀（15）出口连接高温膨胀机（14）进口，高温膨胀机（14）出口连接集成换热器（9）热端进口EXI1;集成换热器（9）热端出口EXO1连接低温膨胀机（19）二级进口截止阀（18）进口，二级进口截止阀（18）出口连接低温膨胀机（19）进口;低温膨胀机（19）出口分别连接第十四截止阀（30）出口、集成换热器（9）冷端进口CXI5。


2.根据权利要求1所述的氦液化及不同温度等级氦气冷源供给装置，其特征在于所述集成换热器（9）的热端出口HXO3分别连接集成换热器（9）的热端进口HXI4、第十九截止阀（36）进口，所述集成换热器（9）热端出口HXO4连接低温杂质吸附器（16）进口，低温杂质吸附器（16）出口分别连接集成换热器（9）热端进口HXI5、第二十截止阀（37）进口;集成换热器（9）热端出口HXO5连接低温节流阀（17）进口，低温节流阀（17）出口连接集成换热器（9...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁士豪，何晖，李冬锋，李剑锋，朱程浩，洪梦丽，
申请(专利权)人：杭州制氧机集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33