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一种氦液化及不同温度等级氦气冷源供给装置，它包括集成换热器、氦气压缩机、高/低温氦气膨胀机、J‑T节流阀、真空杜瓦罐、气液分离罐、流路截止阀，其特征在于所述氦气压缩机进口分别连接氦气缓冲罐进口、截止阀进口、复温氦气截止阀出口、氦气补充截止阀...
该专利属于杭州制氧机集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州制氧机集团股份有限公司授权不得商用。

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