具有同一结构动态特性的可分离式一体化隔震台制造技术

本发明专利技术提供一种具有同一结构动态特性的可分离式一体化隔震台，限制填充材料的弹性系数，由此，使得填充材料与已浇筑混凝土等的抗弯刚度相似，从而，将其之间的不均一性最小化，并提高振动特性，通过提高分离隔震台之间的结合力而提高耐用性，防止在分离隔震台之间的钢筋相接时发生反冲现象，从而，防止分离隔震台的弯曲固有振动数低下，而与拉伸压缩载荷的稳定的传输一起，在振动侧面直接执行钢筋的弹性恢复功能。

【技术实现步骤摘要】
具有同一结构动态特性的可分离式一体化隔震台
本专利技术涉及模板一体式分离隔震台，更具体地涉及一种可分离式一体化隔震台，即使具有可分离式一体化结构，也能够具有与构成为完全一体的隔震台相同的动态特性。
技术介绍
一般而言，半导体元件的制造工艺从光刻、蚀刻、薄膜层积而经过各种单位工艺，为此，使用各种半导体制造设备。该半导体制造设备因执行精密的工艺，因在由外部传输的振动等非常脆弱，由此，为了确保半导体元件的高品质及收益率，需要对其进行解决，由此，研发一种隔震台。现有的隔震台使得在上面设置半导体制造装置，以使半导体制造装置未直接被设置在地面上，由此，在一定程度上对外部振动进行吸收及缓解。但，现有的隔震台存在了如下问题，因由大部分单一的物体构成，由此，在投入及设置时需要大量的空间，并引起产生大量的粉尘。为了改善该问题，韩国注册专利第10-0791079号的“隔震台及其设置方法”作为现有技术而公开，其包括：设备支撑体，具有两个以上设备支撑组及贯通所述设备支撑组的侧面而相互间连接所述设备支撑组的组连接单元；及地面结构体，设置在所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有同一结构动态特性的可分离式一体化隔震台，其特征在于，/n包括：/n多个分离隔震台，两侧侧面与下部面由形成上方开启的容纳空间的壳体的侧部水平延伸而形成连接空间，并在所述容纳空间与所述连接空间铺设钢筋，在所述容纳空间内通过混凝土的浇筑而形成钢筋混凝土；/n模板连接部，相互连接所述分离隔震台各自的壳体，以使保持相互连接所述分离隔震台各自的连接空间的状态；/n钢筋连接部，相互连接显露至所述分离隔震台各自的连接空间的钢筋；及/n填充材料，使得能够在分别相互连接所述分离隔震台的连接空间内与混凝土一起浇筑而形成钢筋混凝土，/n所述填充材料的弹性系数为浇筑至所述容纳空间内的混凝土的弹性系数的50～...

【技术特征摘要】
20190520 KR 10-2019-00587801.一种具有同一结构动态特性的可分离式一体化隔震台，其特征在于，
包括：
多个分离隔震台，两侧侧面与下部面由形成上方开启的容纳空间的壳体的侧部水平延伸而形成连接空间，并在所述容纳空间与所述连接空间铺设钢筋，在所述容纳空间内通过混凝土的浇筑而形成钢筋混凝土；
模板连接部，相互连接所述分离隔震台各自的壳体，以使保持相互连接所述分离隔震台各自的连接空间的状态；
钢筋连接部，相互连接显露至所述分离隔震台各自的连接空间的钢筋；及
填充材料，使得能够在分别相互连接所述分离隔震台的连接空间内与混凝土一起浇筑而形成钢筋混凝土，
所述填充材料的弹性系数为浇筑至所述容纳空间内的混凝土的弹性系数的50～200％。


2.根据权利要求1所述的具有同一结构动态特性的可分离式一体化隔震台，其特征在于，
所述模板连接部包括：
固定螺栓，通过焊接分别固定于相互邻近的所述分离隔震台各自的连接空间地面上；
连接板，插入至各个所述固定螺栓，具有相当于所述下部面厚度1～5倍的厚度；及
螺母，分别螺旋连接至分别由所述连接板突出的固定螺栓，由此，所述连接板连接相互邻近的所述分离隔震台。


3.根据权利要求1所述的具有同一结构动态特性的可分离式一体化隔震台，其特征在于，
所述钢筋连接部包括：
连接螺母，螺旋结合形成于按一列配置至各个相互邻近的连接空间的钢筋各自的末端...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴海东，朴健绿，柳国铉，宋敬镐，
申请(专利权)人：株V一，
类型：发明
国别省市：韩国;KR