【技术实现步骤摘要】
一种热电堆传感器结构
本技术涉及传感器
,尤其是一种热电堆传感器结构。
技术介绍
热电堆红外传感器广泛应用于耳式体温计、放射温度计、电烤炉、食品温度检测等领域中,其可实现被测物体的无接触式温度检测。目前常见的热电堆传感器主要包括衬底、热偶条对、导电电极,但是现有的热电堆传感器存在芯片响应率低的问题,现有提高芯片响应率的方式主要为调整其内部结构,例如改变衬底上热偶条对的布置方式、增加热偶条尺寸等但由于衬底及热电堆传感器封装尺寸的限制,不便于对其内部进行调整,在现有尺寸衬底上增加热电材料,不仅成本较高,而且工艺复杂,导致生产加工困难,因此专利技术一种结构简单,同时可提高芯片响应率的热电堆传感器成为本领域技术人员亟待解决的问题。
技术实现思路
本专利技术人针对上述问题及技术需求,提出了一种热电堆传感器结构。该结构通过在热电堆传感器的顶端沉积聚合物透镜,实现了外部红外辐射光汇聚到热电堆传感器上,设计简单合理,可大大提高芯片响应率。本技术的技术方案如下:一种热电堆传感器结构,包括热电堆传感器和聚合 ...
【技术保护点】
1.一种热电堆传感器结构,其特征在于,包括热电堆传感器和聚合物透镜,所述聚合物透镜通过镀膜方式沉积于所述热电堆传感器的顶端,所述聚合物透镜为凸透镜,外部红外辐射光垂直穿过所述聚合物透镜,所述聚合物透镜用于实现所述外部红外辐射光汇聚到所述热电堆传感器上。/n
【技术特征摘要】
1.一种热电堆传感器结构,其特征在于,包括热电堆传感器和聚合物透镜,所述聚合物透镜通过镀膜方式沉积于所述热电堆传感器的顶端,所述聚合物透镜为凸透镜,外部红外辐射光垂直穿过所述聚合物透镜,所述聚合物透镜用于实现所述外部红外辐射光汇聚到所述热电堆传感器上。
2.根据权利要求1所述的热电堆传感器结构,其特征在于,所述热电堆传感器包括衬底,所述聚合物透镜沉积于所述衬底的顶端,所述衬底的中部开有空腔,所述衬底的底部设置有红外吸收层、热电堆层、导电电极,所述红外吸收层、热电堆层从上至下依次布置,所述导电电极包括至少两个,且分布于所述红外吸收层的底部两侧,两个所述导电电极之间为所述热电堆层,所述热电堆层包含若干热偶对,每对所述热偶对包含至少两层上下分布的热偶条,各层所述热偶条之间通过隔离层隔离,每个所述隔离层上分别设置有通孔,各层所...
【专利技术属性】
技术研发人员:孙其梁,徐乃涛,程进,李宋泽,
申请(专利权)人:无锡微视传感科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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