转台轴线方向位移测量装置制造方法及图纸

技术编号:26389580 阅读:56 留言:0更新日期:2020-11-19 23:59
本实用新型专利技术提供了一种转台轴线方向位移测量装置,包括双频激光头100、分光组件200、干涉光路组件300、检测系统400、转台反射件510、转台520、支撑平台540、缩束组件700以及光隔离组件800,转台520为待测量件,转台反射件510设置在转台520上,双频激光头100、分光组件200、干涉光路组件300、缩束组件700以及光隔离组件800均安装在支撑平台540上。本实用新型专利技术容易实现共光路结构,使测量系统具有很好的抗干扰性与稳定性,实现了光隔离的功能,有效防止回授光带来的双频激光头失稳,相位传感器没有读数的问题;本实用新型专利技术可获得更高的测量精度,适合五轴转台的现场校准需求。

【技术实现步骤摘要】
转台轴线方向位移测量装置
本技术涉及转台测量领域,具体地,涉及一种转台轴线方向位移测量装置。
技术介绍
转台的机械精度决定了其综合精度和总的性能指标。无论何种类型转台,其静态指标包括轴系相交度、垂直度、对准误差等。针对转台相交度和垂直度的常用测量方法通常是由轴线之间的位姿关系推导出相交度和垂直度。有通过准直望远镜或经纬仪测量该参考点在外框轴、中框轴和内框轴处于不同角位置时的水平角变化得到轴线位姿关系的,这种方法难以设置参考点,而且使用准直望远镜或经纬仪观测参考点时容易被转台框架遮挡。对于转台,尤其是五轴转台的相交度、垂直度等指标中轴线之间的位姿关系的测试困难较大。公开号为CN208488055U的专利文献公开了一种船舶轴线测量工具,包括依次电性连接的内径千分尺、第一导线、微光显示装置、第二导线,所述微光显示装置中设置有串联在一起的电池、微光显示灯、开关按钮。该技术提高了船舶轴线测量的方便性、可靠性和精确性。但是该装置的测量精度不如本技术,本技术使用相位传感器,利用相位调制的方法,具有比光强、角度和波长调制更高的精度,可获得更高的测量精度本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种转台轴线方向位移测量装置,其特征在于,包括双频激光头(100)、分光组件(200)、干涉光路组件(300)、检测系统(400)、转台反射件(510)、转台(520)、支撑平台(540)、缩束组件(700)以及光隔离组件(800),/n所述转台反射件(510)设置在转台(520)上,所述双频激光头(100)、分光组件(200)、干涉光路组件(300)、缩束组件(700)以及光隔离组件(800)均安装在支撑平台(540)上;/n所述双频激光头(100)发出的一组光束依次通过缩束组件(700)与光隔离组件(800)后形成双频总光线(610),双频总光线(610)进入分光组件(200)后分成多...

【技术特征摘要】
1.一种转台轴线方向位移测量装置,其特征在于,包括双频激光头(100)、分光组件(200)、干涉光路组件(300)、检测系统(400)、转台反射件(510)、转台(520)、支撑平台(540)、缩束组件(700)以及光隔离组件(800),
所述转台反射件(510)设置在转台(520)上,所述双频激光头(100)、分光组件(200)、干涉光路组件(300)、缩束组件(700)以及光隔离组件(800)均安装在支撑平台(540)上;
所述双频激光头(100)发出的一组光束依次通过缩束组件(700)与光隔离组件(800)后形成双频总光线(610),双频总光线(610)进入分光组件(200)后分成多路双频子光线(620),双频子光线(620)又称为双频入射测量光(640),双频入射测量光(640)进入干涉光路组件(300),双频入射测量光(640)进入干涉光路组件(300)的分光装置后分成第一偏振入射光与第二偏振入射光,第一偏振入射光射入转台反射件(510),经过转台反射件(510)反射形成第一偏振出射光,第二偏振入射光经干涉光路组件(300)的反射装置反射形成第二偏振出射光,第一偏振出射光与第二偏振出射光汇合形成测量干涉光路(650),测量干涉光路(650)进入检测系统(400);双频激光头(100)发出的另一组光束形成参考光(630),参考光(630)入射检测系统(400)。


2.根据权利要求1所述的转台轴线方向位移测量装置,其特征在于,所述分光组件(200)包括一个或多个分光镜,分光组件(200)能够将双频总光线(610)分为多路双频子光线(620)。


3.根据权利要求1所述的转台轴线方向位移测量装置,其特征在于,所述分光组件(200)包括两个分光镜,即第一分光镜(210)和第二分光镜(220),所述第一分光镜(210)的反射率为30%,所述第二分光镜(220)的反射率为50%。


4.根据权利要求1所述的转台轴线方向位移测量装置,其特征在于,所述干涉光路组件(300)与双频子光线(620)一一对应,干涉光路组件(300)包括偏振分光镜(320)、全反射角锥棱镜(330)以及转折反射镜(340),所述偏振分光镜(320)能够将双频入射测量光(640)分成第一偏振入射光与第二偏振入射光,第一偏振入射光经过转折反射镜(340)入射转台反射件(510),第二偏振入射光由全反射角锥棱镜...

【专利技术属性】
技术研发人员:李艳红柴娟芳赵吕懿沈涛朱炜陈强华刘斌超荆娜张琰冯晓晨田义杨扬周麟
申请(专利权)人:上海机电工程研究所北京理工大学北方工业大学
类型:新型
国别省市:上海;31

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