一种洁净室检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种洁净室检测装置，属于洁净室技术领域。一种洁净室检测装置，包括:移动支座；万向轮，包括万向前轮、万向后轮，均连接在所述移动支座底部；其中，所述万向前轮、万向后轮上均设有滚轮；第一摩擦片；第二摩擦片，滑动连接在所述移动支座上；用于驱动所述移动支座移动的驱动把手，转动连接在所述移动支座上；检测组件，设置在所述移动支座上端；第一调高组件；第二调高组件；本实用新型专利技术通过万向轮、滑动轮的设置便于对检测组件进行移动，通过两组调高组件的设置便于对检测组件的高度调节，能够对洁净房内的多个位置进行检测，提高了检测结果的代表性，且通过连接绳、弹性绳的设置，能够提高监测过程中的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种洁净室检测装置
本技术涉及洁净室
，尤其涉及一种洁净室检测装置。
技术介绍
洁净室，亦称无尘车间、无尘室或清洁室，洁净室是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计的房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100％没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的A级。芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。0.5uM及以下的微尘数量被严格控制在每立方英寸1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。现有的在对洁净室进行安全检测的过程中，常常是进行单点检测，检测结果不具有代表性，进而不便于判断洁净室是否合格，降低了检测的效率。<br>
技术实现思路
本技术的目的是为了解决上述
技术介绍
中提出的题，而提出的一种洁净室检测装置。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种洁净室检测装置，包括:移动支座；万向轮，包括万向前轮、万向后轮，均连接在所述移动支座底部；其中，所述万向前轮、万向后轮上均设有滚轮；第一摩擦片，固定连接在所述滚轮上；第二摩擦片，滑动连接在所述移动支座上，与第一摩擦片相贴用于限制滚轮的转动；用于驱动所述移动支座移动的驱动把手，转动连接在所述移动支座上，用于控制万向后轮上第二摩擦片的滑动；检测组件，设置在所述移动支座上端；第一调高组件，设置在所述移动支座上，用于调节检测组件的高度；第二调高组件，与所述第一调高组件、检测组件均可拆卸相连，用于调节检测组件的高度；其中，所述第一调高组件包括支撑架，所述支撑架用于驱动万向前轮上第二摩擦片的滑动，所述移动支座上滑动连接有滑动连接块，所述滑动连接块与支撑架通过调节臂相连，所述移动支座上转动连接有正反转丝杆，所述正反转丝杆与滑动连接块螺纹连接；所述检测组件为压力检测器、温度检测器、湿度检测器、光照强度检测器中的一种或几种。优选的，所述移动支座上固定连接有固定板，所述固定板上滑动连接有滑动柱，所述滑动柱与第二摩擦片固定相连，所述滑动柱上套接有调节弹簧，所述调节弹簧的两端分别与固定板、滑动柱相连。优选的，所述支撑架上连接有弹性绳，所述弹性绳与滑动柱相连，所述弹性绳穿过固定板。优选的，所述驱动把手下端固定连接有驱动块，所述移动支座上滑动连接有滑动块，所述驱动块与滑动块相匹配，所述滑动块的下端与滑动柱通过连接绳相连。优选的，所述第二调高组件包括液压升降装置，所述液压升降装置的输出端固定连接有放置座，所述放置座用于放置检测组件。优选的，还包括安装座，所述检测组件安装在安装座上，所述放置座上滑动连接有压紧轴，所述压紧轴与安装座相贴，所述压紧轴上滑动连接有压紧弹簧，所述压紧弹簧的两端分别与放置座、压紧轴相贴。优选的，所述安装座的下端还设有滑动轮。优选的，所述液压升降装置与支撑架通过螺栓相连。优选的，所述正反转丝杆上固定连接有转盘。与现有技术相比，本技术提供了一种洁净室检测装置，具备以下有益效果：1、该洁净室多点检测装置，使用者在使用时，首先对本装置进行移动，移动至待检测位置时通过两组调高组件对检测组件进行高度调节，进而便于检测不同点位，且在检测时能够分别对万向前轮、万向后轮进行固定，提高监测过程中的稳定性；在对本装置进行移动时，首先通过推动或拉动驱动把手转动，当驱动把手转动到最大距离时，此时通过驱动把手、万向轮便于使用者控制移动支座的滑动；需要注意的是，在未控制驱动把手时，驱动万向后轮上的第一摩擦片与第二摩擦片相贴，防止驱动万向后轮滑动，在驱动把手转动时，会通过驱动块带动滑动块滑动，进而在滑动块滑动时会通过连接绳拉动滑动柱滑动，调节弹簧压缩，使得第二摩擦片与第一摩擦片分离，能够移动移动支座；在调节检测组件的高度时，首先通过液压升降装置能够带动检测组件滑动，进行调节；通过第二调高组件进行调节时，会进一步改变检测组件的高度，且会使得本装置的重心发生变化，稳定性降低，因此增加了弹性绳；通过转动转盘，结合正反转丝杆、滑动连接块、调节臂、支撑架能够调节检测组件的高度，且在支撑架滑动时，会通过弹性绳带动万向前轮上的滑动柱滑动，使得第一摩擦片与第二摩擦片相贴，防止滚轮滑动，进而提高了本装置的稳定性；该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现，本技术通过万向轮、滑动轮的设置便于对检测组件进行移动，通过两组调高组件的设置便于对检测组件的高度调节，能够对洁净房内的多个位置进行检测，提高了检测结果的代表性，且通过连接绳、弹性绳的设置，能够提高监测过程中的稳定性。附图说明图1为本技术提出的一种洁净室检测装置的结构示意图之一；图2为本技术提出的一种洁净室检测装置的结构示意图之一；图3为本技术提出的一种洁净室检测装置的图2中A部分的结构示意图；图4为本技术提出的一种洁净室检测装置的结构示意图之一；图5为本技术提出的一种洁净室检测装置的图4中B部分的结构示意图；图6为本技术提出的一种洁净室检测装置的图4中C部分的结构示意图；图7为本技术提出的一种洁净室检测装置的结构示意图之一；图8为本技术提出的一种洁净室检测装置的图7中D部分的结构示意图。图中：1、移动支座；101、驱动把手；102、驱动块；103、滑动块；104、连接绳；2、支撑架；201、调节臂；202、滑动连接块；203、正反转丝杆；204、转盘；205、弹性绳；3、液压升降装置；301、放置座；302、压紧轴；303、压紧弹簧；304、安装座；305、滑动轮；306、检测组件；4、滚轮；401、第一摩擦片；402、第二摩擦片；403、滑动柱；404、调节弹簧；405、固定板；5、万向轮；501、万向前轮；502、万向后轮。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种洁净室检测装置，其特征在于，包括:/n移动支座(1)；/n万向轮(5)，包括万向前轮(501)、万向后轮(502)，均连接在所述移动支座(1)底部；/n其中，所述万向前轮(501)、万向后轮(502)上均设有滚轮(4)；/n第一摩擦片(401)，固定连接在所述滚轮(4)上；/n第二摩擦片(402)，滑动连接在所述移动支座(1)上，与第一摩擦片(401)相贴用于限制滚轮(4)的转动；/n用于驱动所述移动支座(1)移动的驱动把手(101)，转动连接在所述移动支座(1)上，用于控制万向后轮(502)上第二摩擦片(402)的滑动；/n检测组件(306)，设置在所述移动支座(1)上端；/n第一调高组件，设置在所述移动支座(1)上，用于调节检测组件(306)的高度；/n第二调高组件，与所述第一调高组件、检测组件(306)均可拆卸相连，用于调节检测组件(306)的高度；/n其中，所述第一调高组件包括支撑架(2)，所述支撑架(2)用于驱动万向前轮(501)上第二摩擦片(402)的滑动，所述移动支座(1)上滑动连接有滑动连接块(202)，所述滑动连接块(202)与支撑架(2)通过调节臂(201)相连，所述移动支座(1)上转动连接有正反转丝杆(203)，所述正反转丝杆(203)与滑动连接块(202)螺纹连接；/n所述检测组件(306)为压力检测器、温度检测器、湿度检测器、光照强度检测器、噪声传感器、风速检测器和激光尘埃粒子采样器中的一种或几种。/n...

【技术特征摘要】
1.一种洁净室检测装置，其特征在于，包括:
移动支座(1)；
万向轮(5)，包括万向前轮(501)、万向后轮(502)，均连接在所述移动支座(1)底部；
其中，所述万向前轮(501)、万向后轮(502)上均设有滚轮(4)；
第一摩擦片(401)，固定连接在所述滚轮(4)上；
第二摩擦片(402)，滑动连接在所述移动支座(1)上，与第一摩擦片(401)相贴用于限制滚轮(4)的转动；
用于驱动所述移动支座(1)移动的驱动把手(101)，转动连接在所述移动支座(1)上，用于控制万向后轮(502)上第二摩擦片(402)的滑动；
检测组件(306)，设置在所述移动支座(1)上端；
第一调高组件，设置在所述移动支座(1)上，用于调节检测组件(306)的高度；
第二调高组件，与所述第一调高组件、检测组件(306)均可拆卸相连，用于调节检测组件(306)的高度；
其中，所述第一调高组件包括支撑架(2)，所述支撑架(2)用于驱动万向前轮(501)上第二摩擦片(402)的滑动，所述移动支座(1)上滑动连接有滑动连接块(202)，所述滑动连接块(202)与支撑架(2)通过调节臂(201)相连，所述移动支座(1)上转动连接有正反转丝杆(203)，所述正反转丝杆(203)与滑动连接块(202)螺纹连接；
所述检测组件(306)为压力检测器、温度检测器、湿度检测器、光照强度检测器、噪声传感器、风速检测器和激光尘埃粒子采样器中的一种或几种。


2.根据权利要求1所述的一种洁净室检测装置，其特征在于，所述移动支座(1)上固定连接有固定板(405)，所述固定板(405)上滑动连接有滑动柱(403)，所述滑动柱(403)与第二摩擦片(402)固定相连，所述滑动柱(403)上套接有调节弹簧(404)...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙晓宁，陈岳蓉，海平，骆桂法，郑永彪，张敏娟，
申请(专利权)人：青海省药品检验检测院，
类型：新型
国别省市：青海;63