【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及检测电磁噪声或电磁泄漏波以及检测高电压装置发生的电场所使用的电场传感器。
技术介绍
随着电子设备特别是计算机、数字机器的发展,电磁泄漏波及电磁噪声泛滥成灾,并且正在成为很多社会问题。因此,抑制电磁噪声是社会的需要,同时希望检测和测量技术具有高度的准确性。另外,目前还没有检测高压加速器及高压等离子体发生装置的真空装置内的电场的方法,期待着小型的传感器问世。同样,对于微波炉内部的电场分布也还没有进行直接测量的方法,仍是依赖于根据含有水分的物质吸收微波后温度升高的现象间接地进行测量的方法。此外,例如在电力设备中对于包括输电线在内的设施的维护和状态的监视,也必须检测电场。以往,作为电磁噪声或电磁泄漏波的检测方法,已知的是使电光晶体(EO晶体)与测量对象物的表面靠近,利用电光效应将其电场变换为光的强度进行检测的方法。利用电光效应的表面电场的检测方法的特征是非接触地检测电路元件的微小表面的电压及噪声波形。图1表示利用电光效应的表面电场检测方法。由透镜52将半导体激光器50的出射光51变为平行光,通过偏光棱镜53、1/2波长滤光片54后经平面镜55反射,通过透镜 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
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