电场传感器制造技术

一种电场传感器，具有传感器探头、入射光纤及出射光纤、光源和光检测器，传感器探头构成为透过的光的强度随外加的电场强度变化；入射光纤和出射光纤与该传感器探头连接；光源与上述入射光纤的一端耦合向该入射光纤照射光：光检测器用于检测透过上述传感器探头后从上述出射光纤射出的透过光，该电场传感器的特征在于：上述传感器探头具有基板、在该基板上形成的与上述入射光纤连接的入射光波导、在上述基板上从上述入射光波导分支形成的折射率随外加的电场强度变化的２个分支光波导、在上述基板上把上述分支光波导合流形成的并与上述出射光波导连接的出射光波导和设置在上述分支光波导的至少一边附近的用于屏蔽电场的电场屏蔽部件。（*该技术在2014年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及测量电池及电磁噪声的电场传感器，特别是测量在空间传播的电磁波的电场强度的电场传感器。
技术介绍
图1是先有的利用波导式元件构成的电场传感器探头101的结构例子。该电场传感器探头101具有垂直C轴切割的铌酸锂晶体的基板102、在该基板102上扩散钛后形成的入射光波导103及从该入射光波导103分支的位相偏移光波导104，105和由这些位相偏移光波导104，105合流而结合成的出射光波导106。入射光波导103的入射端与入射光纤107连接，出射光波导106的出射端与出射光纤108连接。另外，在位相偏移光波导104，105上设有1对电极109，这些电极109与棒状天线110连接。在图1中，从入射光纤107入射的入射光111射入入射光波导103内之后，能量分配给位相偏移光波导104，105。外部加上电场时，通过棒状天线110在电极109上感应起电压，在位相偏移光波104，105中沿深度方向相互产生方向相反的电场分量。结果，由于电光效应而引起折射率变化，从而在位相偏移光波导104，105中传播的光波之间产生与外加电场的大小对应的位相差，当它们在出射光波导106中汇合时，因干涉而本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：户叶祐一，近藤充和，
申请(专利权)人：NEC东金株式会社，
类型：发明
国别省市：