【技术实现步骤摘要】
一种石英支架加工辅助装置
本技术涉及石英玻璃加工领域，更具体的说涉及一种石英支架加工辅助装置。
技术介绍
石英玻璃产品属于半导体设备中的重要组成产品，随着IC行业的高速发展，半导体设备制造行业所需石英制品在结构上越来越复杂，尺寸大、加工难度高。特别是对于大尺寸石英支架产品，整个产品需要拆分为多个部品后通过手工焊接而成，难以满足客户对于三个支脚板的平面度要求，故需对焊接后的产品进行机加工处理。现有的加工辅助治具在使用时没有微调功能，不能对产品所有支脚板起支撑的作用，故支脚板在加工时存在因受力过大导致断裂的风险。
技术实现思路
为了解决上述问题，提供一种固定稳固，可以防止支脚板发生断裂的石英支架加工辅助装置，本技术采用以下技术方案。一种石英支架加工辅助装置，包括治具本体、套环、若干个支撑圆柱组和调节螺母，所述的治具本体的顶部设有套环凸台，所述的套环凸台上设有第一凹槽，所述的第一凹槽的底面上还设有套环固定槽，所述的套环嵌在所述的套环固定槽内，每个所述的支撑圆柱组包括若干个支撑圆柱，每个所述的支撑圆柱与所...
【技术保护点】
1.一种石英支架加工辅助装置，包括治具本体、套环、若干个支撑圆柱组和调节螺母，其特征在于：所述的治具本体的顶部设有套环凸台，所述的套环凸台上设有第一凹槽，所述的第一凹槽的底面上还设有套环固定槽，所述的套环嵌在所述的套环固定槽内，每个所述的支撑圆柱组包括若干个支撑圆柱，每个所述的支撑圆柱与所述的套环通过调节螺母连接。/n
【技术特征摘要】
1.一种石英支架加工辅助装置，包括治具本体、套环、若干个支撑圆柱组和调节螺母，其特征在于：所述的治具本体的顶部设有套环凸台，所述的套环凸台上设有第一凹槽，所述的第一凹槽的底面上还设有套环固定槽，所述的套环嵌在所述的套环固定槽内，每个所述的支撑圆柱组包括若干个支撑圆柱，每个所述的支撑圆柱与所述的套环通过调节螺母连接。
2.根据权利要求1所述的一种石英支架加工辅助装置，其特征在于：所述的套环凸台上还设有第二凹槽，所述的第二凹槽垂直于所述的第一凹槽的其中一条切线。
3.根据权利要求2所述的一种石英支架加工辅助装置，其特征在于：所述的治具本体下端设有产品固定槽。
4.根据权利要求3所述的一种石英支架加工辅助装置，其特征在于：所述的第二凹槽包括支脚板固定部和产品固定部，所述的支脚板固定部和产品固定部连接，所述的产品固定部的槽的侧壁为对称的圆弧形。...
【专利技术属性】
技术研发人员：卢文龙，苏云飞，吴然红，
申请(专利权)人：杭州大和热磁电子有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33
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