基于硅芯重新分相的72对棒多晶硅还原炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种基于硅芯重新分相的72对棒多晶硅还原炉，包括72对硅芯，72对硅芯设置为8组，每组中的硅芯串联连接；8组硅芯在还原炉底盘上按同心圆布置形成6个分布圆，最外层为第一分布圆，向内依次递增；第一组共10对硅芯和第二组共11对硅芯设置于第一分布圆上，第三组共13对硅芯和第四组共5对硅芯设置于第二分布圆上，第五组共10对硅芯和第六组共5对硅芯设置于第三分布圆上，第七组共9对硅芯设置于第四分布圆上，第八组的6对硅芯设置于第五分布圆上，3对硅芯设置于第六分布圆上。本实用新型专利技术将72对硅芯重新分相以减少跨圈，并在同一圈硅芯施加相同的电流，为其提供同强度的热量，以保证还原炉热场分布均衡，便于工艺控制。

【技术实现步骤摘要】
基于硅芯重新分相的72对棒多晶硅还原炉
本技术涉及多晶硅还原炉
，尤其涉及一种基于硅芯重新分相的72对棒多晶硅还原炉。
技术介绍
自改良西门子法进入国内以来，气相沉积反应器(还原炉)在国也开始了不断地改良优化，炉型从刚开始的9对棒到现在的72对棒甚至更大，不止是炉型在不断地创新，炉底盘的电极排列方式为了达到更理想的效果也在不断地优化改进，如正三角形、正六边形等等，但是对于现在我们所追求的大炉型，比如72对棒还原炉，采用现在常规的炉底盘电极分布方式(72对硅芯分为6组，每组12对，6圈布局，但硅芯跨圈布局)，以及传统的还原电源供电(六相电源供电)，在炉底盘规则分相的情况下，始终会造成同一相的多晶硅负载不在同一圈，多晶硅还原炉电源系统运行时，生长中的多晶硅产品质量受炉内温度影响很大，多晶硅负载不在同一圈时，同一相负载施加的电流产生的热量会为炉内同一圈多晶硅负载提供不同强度的热量，会导致炉内热场不均衡，不便于工艺控制。
技术实现思路
为了解决上述问题，本技术提出一种基于硅芯重新分相的72对棒多晶硅还原炉，将72对硅芯重新分相以减本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于硅芯重新分相的72对棒多晶硅还原炉，其特征在于，包括72对硅芯，所述72对硅芯设置为8组，每组中的硅芯串联连接；所述8组硅芯在还原炉底盘上按同心圆布置形成6个分布圆，最外层为第一分布圆，向内依次递增；第一组共10对硅芯和第二组共11对硅芯设置于第一分布圆上，第三组共13对硅芯和第四组共5对硅芯设置于第二分布圆上，第五组共10对硅芯和第六组共5对硅芯设置于第三分布圆上，第七组共9对硅芯设置于第四分布圆上，第八组共9对硅芯，其中6对硅芯设置于第五分布圆上，另外3对硅芯设置于第六分布圆上。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于硅芯重新分相的72对棒多晶硅还原炉，其特征在于，包括72对硅芯，所述72对硅芯设置为8组，每组中的硅芯串联连接；所述8组硅芯在还原炉底盘上按同心圆布置形成6个分布圆，最外层为第一分布圆，向内依次递增；第一组共10对硅芯和第二组共11对硅芯设置于第一分布圆上，第三组共13对硅芯和第四组共5对硅芯设置于第二分布圆上，第五组共10对硅芯和第六组共5对硅芯设置于第三分布圆上，第七组共9对硅芯设置于第四分布圆上，第八组共9对硅芯，其中6对硅芯设置于第五分布圆上，另外3对硅芯设置于第六分布圆上。

【专利技术属性】
技术研发人员：黄勇，简凤麟，赵小飞，贾彦定，朱攀峰，柴璐斌，
申请(专利权)人：新疆东方希望新能源有限公司，
类型：新型
国别省市：新疆;65