一种钯合金氢气传感器制造技术

本发明专利技术公开了一种钯合金氢气传感器，涉及传感器技术领域，包括基板、半导体制冷制热片、硅衬底、测温电阻、绝缘屏蔽层、两个测温电阻输出端、第一钯薄膜电阻、第二钯薄膜电阻、4个传输线和4个钯传感器输出端，解决了为钯薄膜传感器提供良好的工作温度范围的技术问题，本发明专利技术采用了钯薄膜传感器结合半导体制热、制冷技术来保证芯片工作在一个稳定的环境之中。使传感器的精度更高、测量的数据更准、同时还极大的延长了传感器的使用寿命，本发明专利技术在钯薄膜电阻上增加了绝缘屏蔽层，增加了传感器的抗干扰能力，本发明专利技术将测温电阻尽可能的包围两个钯薄膜传感器，使测温值更加准确。

【技术实现步骤摘要】
一种钯合金氢气传感器
本专利技术涉及传感器
，具体涉及一种钯合金氢气传感器。
技术介绍
变压器无论是热故障还是电故障，都会导致绝缘介质—变压器油裂解产生一些特征气体。如果变压器油中含气量高，尤其是氢含量超标，将加速变压器油老化，使得绝缘材料使用寿命减少一半，起不到很好的散热、冷却的效果。及早发现设备内部是否有局部放电，如有局部放电会引起绝缘破坏，甚至造成事故。目前，电网中对油中的氢气的测量主要采用光声光谱法和色谱法。但这两种技术无法直接对油中的氢气进行测量，都需要进行油气分离，例如使用阻油透气膜在高压下将气体分离出来，或者采用真空法，在真空下利用气体在油中的溶解度降低来分离，再进入色谱柱，利用光谱法或者色谱法对组分进行分析。由于脱气处理需要很长的时间，因此，这两种方法对油中氢气的测量是不连续的，无法做到实时监测。钯薄膜传感器解决了色谱法无法连续测量的缺点，可以做到连续监测。然而，钯薄膜传感器芯片只能在一个恒定的温度下工作，例如一般选取70℃。但变压器在极端情况之下，变压器的温度可高达90℃，导致芯片温度无法调节到7本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种钯合金氢气传感器，其特征在于：包括基板、半导体制冷制热片、硅衬底、测温电阻、绝缘屏蔽层、两个测温电阻输出端、第一钯薄膜电阻、第二钯薄膜电阻、4个传输线和4个钯传感器输出端，半导体制冷制热片设于基板上，硅衬底设于半导体制冷制热片上；/n测温电阻、绝缘屏蔽层、两个测温电阻输出端、第一钯薄膜电阻、第二钯薄膜电阻、4个传输线和4个钯传感器输出端均固设与硅衬底上；/n4个钯传感器输出端分别设于硅衬底的4个顶角，两个测温电阻输出端延硅衬底的中心线上下间隔设置；/n测温电阻包括两个端部和中部，两个测温电阻输出端分别通过两个端部连接中部，中部成弯曲状，并空出左右两个区域，设定左边的区域为第一传感器安装...

【技术特征摘要】
1.一种钯合金氢气传感器，其特征在于：包括基板、半导体制冷制热片、硅衬底、测温电阻、绝缘屏蔽层、两个测温电阻输出端、第一钯薄膜电阻、第二钯薄膜电阻、4个传输线和4个钯传感器输出端，半导体制冷制热片设于基板上，硅衬底设于半导体制冷制热片上；
测温电阻、绝缘屏蔽层、两个测温电阻输出端、第一钯薄膜电阻、第二钯薄膜电阻、4个传输线和4个钯传感器输出端均固设与硅衬底上；
4个钯传感器输出端分别设于硅衬底的4个顶角，两个测温电阻输出端延硅衬底的中心线上下间隔设置；
测温电阻包括两个端部和中部，两个测温电阻输出端分别通过两个端部连接中部，中部成弯曲状，并空出左右两个区域，设定左边的区域为第一传感器安装区域，右边的区域为第二传感器安装区域，第一钯薄膜电阻和第二钯薄膜电阻分别设于第一传感器安装区域内和第二传感器安装区域内；
第一钯薄膜电阻的两个输出端分别通过两个传输线连接位于硅衬底左上方和左下方的两个钯传感器输出端；
第二钯薄膜电阻的两个输出端分别通过两个传输线连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：周正超，谢志讯，朱洋凯，何红军，
申请(专利权)人：南京力通达电气技术有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32