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本发明公开了一种钯合金氢气传感器,涉及传感器技术领域,包括基板、半导体制冷制热片、硅衬底、测温电阻、绝缘屏蔽层、两个测温电阻输出端、第一钯薄膜电阻、第二钯薄膜电阻、4个传输线和4个钯传感器输出端,解决了为钯薄膜传感器提供良好的工作温度范围的...该专利属于南京力通达电气技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南京力通达电气技术有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种钯合金氢气传感器,涉及传感器技术领域,包括基板、半导体制冷制热片、硅衬底、测温电阻、绝缘屏蔽层、两个测温电阻输出端、第一钯薄膜电阻、第二钯薄膜电阻、4个传输线和4个钯传感器输出端,解决了为钯薄膜传感器提供良好的工作温度范围的...