【技术实现步骤摘要】
一种原位高温蠕变疲劳扫描电子显微镜
本专利技术涉及电子显微镜
，特别是涉及一种原位高温蠕变疲劳扫描电子显微镜。
技术介绍
随着材料科学技术的快速发展，如何从微观角度表征材料、结构和器件在高温场作用下的各种物理、化学、力学性能成为材料科学
的研究前沿和热点，因此研究专利技术基于扫描电子显微镜的原位高温蠕变疲劳测试系统在寻求新材料、新技术、新工艺方面显得尤为重要。在材料测试过程中，通过电子显微镜对载荷作用下材料发生的微观变形损伤进行全程动态监测，能够更深入地揭示各类材料及其制品的微观力学行为、损伤机理及其材料性能与所受载荷间的相关性规律。众所周知，材料的力学性能通常会随着其所在的温度场和应力场的复合作用发生改变。特别是，随着航空航天、微电子等高技术产业的迅猛发展，工业界对材料的性能又提出了新的要求，因此，探究材料在温度场、机械场等多场耦合条件下的力学性能演化机制显得尤为重要。可控温度的蠕变疲劳测试可实现在不同温度、不同载荷、不同蠕变疲劳载荷作用下的材料微观力学性能的精准测试，对解析高温条件、复合载荷模...
【技术保护点】
1.一种原位高温蠕变疲劳扫描电子显微镜，包括机架，所述机架上设置有电镜腔室；其特征在于：所述电镜腔室的一侧连接有疲劳室，另一侧连接有蠕变室；所述蠕变室内设置有高温蠕变台，所述蠕变室通过第一控制阀与所述电镜腔室连接，所述疲劳室内设置有高温疲劳台，所述疲劳室通过第二控制阀与所述电镜腔室连接；所述蠕变室内还设置有第一传送机构，所述第一传送机构与所述高温蠕变台连接，所述疲劳室内还设置有第二传送机构，所述第二传送机构与所述高温疲劳台连接。/n
【技术特征摘要】
1.一种原位高温蠕变疲劳扫描电子显微镜，包括机架，所述机架上设置有电镜腔室；其特征在于：所述电镜腔室的一侧连接有疲劳室，另一侧连接有蠕变室；所述蠕变室内设置有高温蠕变台，所述蠕变室通过第一控制阀与所述电镜腔室连接，所述疲劳室内设置有高温疲劳台，所述疲劳室通过第二控制阀与所述电镜腔室连接；所述蠕变室内还设置有第一传送机构，所述第一传送机构与所述高温蠕变台连接，所述疲劳室内还设置有第二传送机构，所述第二传送机构与所述高温疲劳台连接。
2.根据权利要求1所述的原位高温蠕变疲劳扫描电子显微镜，其特征在于：所述机架上固定有减震台，所述电镜腔室固定于所述减震台上。
3.根据权利要求1所述的原位高温蠕变疲劳扫描电子显微镜，其特征在于：所述第一控制阀为第一插板阀，所述第一插板阀与所述电镜腔室的一侧连接，所述蠕变室固定于所述第一插板阀上。
4.根据权利要求3所述的原位高温蠕变疲劳扫描电子显微镜，其特征在于：所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：张跃飞，屠金磊，张泽，
申请(专利权)人：浙江祺跃科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。