一种电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法技术

本发明专利技术公开了一种电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法，包括：载入待扫描样品；设置若干参数；定义待扫描样品的样品中心位置和待扫描样品的半径值，以样品中心位置为圆心、半径值为半径形成圆；定义待扫描样品的扫描区域；在扫描区域内选择有限多个点，根据点的数量在圆内选择合适位置将圆均分，并确定若干点的位置；确定焦点位置并自动设置放大倍数，同时激发自动聚焦；根据焦点位置自动计算待扫描样品的平面信息并进行水平校正；根据参数以及电子显微镜自动设定的对比度和亮度，逐个扫描用户指定的所有扫描区域。本发明专利技术大幅提高了全样品扫描的效率，为实现全样品或部分区域的快扫提供了可行方案。

【技术实现步骤摘要】
一种电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法
本专利技术涉及电子显微镜的
，尤其涉及一种电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法。
技术介绍
扫描电子显微镜技术的进步使得对大面积样品的全样品扫描或者随机区域的扫描成为可能。然而，由于其固有扫描条件设置的要求和为了获得清晰的照片，一般而言需要对每一个取图点进行调焦和其他条件手动设置，因此对于大样品而言，这样的全样品扫描是非常耗时的甚至难以实现的。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术的目的在于提供一种电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法。本专利技术采用的技术方案如下：一种电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法，其中，包括：步骤S1：用户载入待扫描样品；步骤S2：用户设置若干参数；步骤S3：用户定义所述待扫描样品的样品中心位置和所述待扫描样品的半径值，以所述样品中心位置为圆心、所述半径值为半径形成圆；用户定义所述待扫描样品的扫描区域；步骤S4：电子显微镜在所述扫描区域内选择有限多个点，根据所述点的数量在所述圆内选择合适位置将所述圆均分，并确定若干本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法，其特征在于，包括：/n步骤S1：用户载入待扫描样品；/n步骤S2：用户设置若干参数；/n步骤S3：用户定义所述待扫描样品的样品中心位置和所述待扫描样品的半径值，以所述样品中心位置为圆心、所述半径值为半径形成圆；用户定义所述待扫描样品的扫描区域；/n步骤S4：电子显微镜在所述扫描区域内选择有限多个点，根据所述点的数量在所述圆内选择合适位置将所述圆均分，并确定若干所述点的位置；/n步骤S5：电子显微镜确定焦点位置并自动设置放大倍数，同时激发自动聚焦；电子显微镜根据所述焦点位置自动计算所述待扫描样品的平面信息并进行水平校正；/n步骤S6：电子显微镜根据所述...

【技术特征摘要】
1.一种电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法，其特征在于，包括：
步骤S1：用户载入待扫描样品；
步骤S2：用户设置若干参数；
步骤S3：用户定义所述待扫描样品的样品中心位置和所述待扫描样品的半径值，以所述样品中心位置为圆心、所述半径值为半径形成圆；用户定义所述待扫描样品的扫描区域；
步骤S4：电子显微镜在所述扫描区域内选择有限多个点，根据所述点的数量在所述圆内选择合适位置将所述圆均分，并确定若干所述点的位置；
步骤S5：电子显微镜确定焦点位置并自动设置放大倍数，同时激发自动聚焦；电子显微镜根据所述焦点位置自动计算所述待扫描样品的平面信息并进行水平校正；
步骤S6：电子显微镜根据所述参数以及电子显微镜自动设定的对比度和亮度，逐个扫描用户指定的所有所述扫描区域。


2.根据权利要求1所述的电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法，其特征在于，在所述步骤S2中，若干所述参数包括：放大倍数和电压。


3.根据权利要求1所述的电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法，其特征在于，在所述步骤S3中，所述扫描区域为全样品扫描区域或随机的任意区域。


4.根据权利要求1所述的电子显微镜全样品扫描快...

【专利技术属性】
技术研发人员：马丁·思巴斯帝安·卡贝尔，莉莲·苏娜，凯彭，图阮，优翰·伯特兰，张传杰，陈辉，
申请(专利权)人：兰波苏州智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32