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一种原位高温蠕变疲劳扫描电子显微镜制造技术
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文档序号:26372905
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本发明公开一种原位高温蠕变疲劳扫描电子显微镜,涉及电子显微镜技术领域,主要包括机架,所述机架上设置有电镜腔室;所述电镜腔室的一侧连接有疲劳室,另一侧连接有蠕变室;所述蠕变室内设置有高温蠕变台,所述蠕变室通过第一控制阀与所述电镜腔室连接,所述...
该专利属于浙江祺跃科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江祺跃科技有限公司授权不得商用。
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