具有断电松开功能的低轮廓气动对接模块制造技术

一种用于对接测试头和外围设备的对接机构，包括从气动活塞（３１０）上伸出的闭锁机构。闭锁机构包括闭锁筒（３５０）、闭锁销（３５２）和偏移弹簧（３５６）。通过第一流体通道（３６４）施加在闭锁销上的流体压力使得闭锁销向前移动到闭锁位置。从第一通道释放流体压力使得闭锁销在偏移弹簧的作用下退回原位。通过第二流体通道（３１８）施加在活塞（３１０）表面上的流体压力导致闭锁机构整体后退。当测试头和外围设备闭锁在一起时，这种后退使得外围设备相对测试头被拉下来，因此导致在测试头和被测试设备之间形成导电接触。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术总体上涉及自动测试系统。特别是，本专利技术涉及一种设备，用于将自动测试设备连接到安装着要测试的半导体装置的机器上。在制造过程中，制造商具有强烈的经济动机来尽可能早地检测并抛弃有故障的部件。因此，许多半导体生产商在晶片切割成电路小片之前，就在晶片层次上对集成电路进行检测。通常在包装之前就对有缺陷的电路进行标记并扔掉，这样就节约了包装次品的费用。作为最后的检测，许多制造商在发货前对每件成品进行检测。为了迅速对大量的半导体部件进行检测，制造商通常使用自动测试设备(“ATE”或者“测试器，tester”)。按照测试程序的指示，测试器自动生成加在集成电路上的输入信号，并监视输出信号。测试器将输出信号与所期望的响应进行比较，以确定所测试的设备，或者说“DUT(Device Under Test)”，是否有缺陷。因为测试器是高度自动化的，因此可以仅仅在几秒钟内完成几百次的测试。通常，部件测试器设计有两个不同的部分。第一部分，称作“测试头”，包括在优选结构中位置靠近DUT的电路，例如，驱动电路，接收电路以及实质上是短程电路(short electrical path)的其它电路。第二本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种适于对接测试头和外围设备的对接机构，包括： 一个闭锁筒； 一个可移动地置于闭锁筒内的闭锁销； 一个施力机构，用来在第一方向上向闭锁销施加力，已形成闭锁状态；当发生功率损失后，所述施力机构产生的力基本为零，基本顺从闭锁销的移动；以及 一个偏移机构，在与第一方向相反的方向上向闭锁销施加力，以形成开锁状态，当发生功率损失后，所述偏移机构完全保持原有的力。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：布赖恩J博瑟，大卫W莱温内克，
申请(专利权)人：泰拉丁公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]