加工装置制造方法及图纸

提供加工装置，其抑制装置的大型化并且提高按压被加工物的外周部分的按压力。通过保持面(300)中的比晶片(W)靠外侧的部分(300a)、第1环状密封件(87)的外壁、板(83)的下表面(83a)以及第2环状密封件(88)的内壁而形成作为密室的环状空间(S)。另外，使用保持面的吸引力而使环状空间成为负压，从而通过大气压将板朝向保持面按压，并且通过第1环状密封件将晶片的外周部分按压至保持面。利用保持面(300)的吸引力和大气压将晶片(W)的外周部分按压至保持面(300)，因此能够抑制装置的大型化和重量化，并且能够以低成本容易地提高将晶片(W)的外周部分按压至保持面(300)的按压力。

【技术实现步骤摘要】
加工装置
本专利技术涉及加工装置。
技术介绍
通常在对被加工物进行磨削的磨削装置中，在将被加工物搬送至卡盘工作台并载置于卡盘工作台的保持面上之后，使保持面与吸引源连通而对被加工物进行吸引保持。通过磨削磨具对卡盘工作台的保持面上所保持的被加工物进行磨削。例如在专利文献1中公开了用于搬送被加工物的搬送装置。在上述那样的磨削装置中，有时也对外周部分产生了翘曲的被加工物进行磨削。在该情况下，在通过保持面对被加工物进行吸引保持时，会在保持面与被加工物的下表面之间产生间隙，有时本应作用于被加工物的保持面的吸引力会从该间隙泄漏。在该情况下，难以通过保持面对被加工物进行吸引保持。作为其对策，在专利文献2中公开了一种将被加工物搬送至卡盘工作台的保持面上的搬送装置。该搬送装置具有对被加工物的中央部分进行吸引保持的吸引保持部以及对被加工物的外周部分进行按压的按压部。该按压部将被加工物的外周部分按压至保持面。由此，缩小保持面与被加工物的外周部分的下表面之间的间隙。专利文献1：日本特开2007-294588号公报专利文献2：日本特开201本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种加工装置，其中，/n该加工装置具有：/n卡盘工作台，其具有对圆板状的被加工物进行保持的保持面；/n加工单元，其对该卡盘工作台的该保持面上所保持的被加工物进行加工；/n暂放单元，其暂放该被加工物；/n搬送机构，其将暂放于该暂放单元的被加工物搬送至该卡盘工作台；以及/n控制单元，/n该搬送机构包含：/n吸引垫，其具有对被加工物的中央部分进行吸引保持的吸引面；/n板，其在中央将该吸引垫支承为在与该吸引面垂直的方向上升降自如；/n圆环状的第1环状密封件，其以该板的下表面的中心为中心而配设于该下表面；/n圆环状的第2环状密封件，其在该板的下表面中的该第1环状密封件的外侧与该第1环状密封件呈同心圆...

【技术特征摘要】
20190516 JP 2019-0928591.一种加工装置，其中，
该加工装置具有：
卡盘工作台，其具有对圆板状的被加工物进行保持的保持面；
加工单元，其对该卡盘工作台的该保持面上所保持的被加工物进行加工；
暂放单元，其暂放该被加工物；
搬送机构，其将暂放于该暂放单元的被加工物搬送至该卡盘工作台；以及
控制单元，
该搬送机构包含：
吸引垫，其具有对被加工物的中央部分进行吸引保持的吸引面；
板，其在中央将该吸引垫支承为在与该吸引面垂直的方向上升降自如；
圆环状的第1环状密封件，其以该板的下表面的中心为中心而配设于该下表面；
圆环状的第2环状密封件，其在该板的下表面中的该第1环状密封件的外侧与该第1环状密封件呈同心圆状配设；
臂，其具有对该板进行支承的支承部；以及
升降单元，其使该臂在与该吸引垫的该吸引面垂直的方向上升降，
该控制单元包含：
第1控制部，其在该吸引垫对暂放于该暂放单元的被加工物进行...

【专利技术属性】
技术研发人员：禹俊洙，守屋宗幸，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：日本;JP