一种激光加工装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种激光加工装置，该加工装置包括：激光器、能量衰减模块以及减光滤镜；能量衰减模块和减光滤镜位于激光器的出光侧，且能量衰减模块和减光滤镜位于激光器与工件载台之间的光路上；激光器发出的光束经过能量衰减模块和减光滤镜，减光滤镜用于减小激光器出射光束的能量。在本发明专利技术实施例中，通过在激光器出射的光路上设置能量衰减模块和减光滤镜，利用减光滤镜改变激光器出射光束的能量，增大了能量衰减模块的可调范围，实现了对敏感工件的加工生产。

【技术实现步骤摘要】
一种激光加工装置
本专利技术涉及激光加工领域，尤其涉及一种激光加工装置。
技术介绍
激光加工其加工原理主要是利用激光器产生的高能粒子对工件的表面进行熔化和气化。由于激光光束具有很好的稳定性和抗干扰性，并且对被加工工件的限制条件如加工的形状、尺寸、环境较少，因此可对大部分金属材料和非金属材料进行高质量、高精度加工。现有技术中采用激光光束对工件表面进行加工时，一般通过在激光器出光侧设置能量衰减器来调节激光出射的能量，当产品对激光加工的能量较敏感时，会使得激光衰减器的可调整范围很小，不利于实现激光对工件的生产加工。
技术实现思路
本专利技术实施例提供一种激光加工装置，提高了能量衰减模块的可调范围，实现了对敏感加工工件的加工生产。本专利技术实施例提供了一种激光加工装置，包括：激光器、能量衰减模块以及减光滤镜；所述能量衰减模块和所述减光滤镜位于所述激光器的出光侧，且所述能量衰减模块和所述减光滤镜位于所述激光器与工件载台之间的光路上；所述激光器发出的光束经过所述能量衰减模块和所述减光滤镜，所述减光本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光加工装置，其特征在于，包括：激光器、能量衰减模块以及减光滤镜；/n所述能量衰减模块和所述减光滤镜位于所述激光器的出光侧，且所述能量衰减模块和所述减光滤镜位于所述激光器与工件载台之间的光路上；/n所述激光器发出的光束经过所述能量衰减模块和所述减光滤镜，所述减光滤镜用于减小所述激光器出射光束的能量。/n

【技术特征摘要】
1.一种激光加工装置，其特征在于，包括：激光器、能量衰减模块以及减光滤镜；
所述能量衰减模块和所述减光滤镜位于所述激光器的出光侧，且所述能量衰减模块和所述减光滤镜位于所述激光器与工件载台之间的光路上；
所述激光器发出的光束经过所述能量衰减模块和所述减光滤镜，所述减光滤镜用于减小所述激光器出射光束的能量。


2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，还包括反射镜，所述反射镜位于所述激光器与所述工件载台之间的光路上。


3.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，还包括物镜，所述物镜位于所述激光器与工件载台之间的光路上，且所述物镜靠近所述工件载台。


4.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述减光滤镜包括反射式滤光镜和\或吸收式滤光镜。


5.根据权利要求4所述的激光加工装置，其特征在于，所述减光滤镜位于所述能量衰减模块与所述工件载台之间的光路上。


6.根据权利要求5所述的激光加工装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：郎经纬，董岱，杨军，郝帅，
申请(专利权)人：苏州科韵激光科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32