超声波接合方法技术

本发明专利技术的目的是提供一种能够对接合对象物的多个接合部位有效率且精度良好地进行超声波接的超声波接合方法。并且，作为本发明专利技术的超声波接合方法在步骤(S2)中，向接合对象物的上方配置3个超声波接合用头部(61～63)。此时，3个超声波接合用头部(61～63)的初始高度h1～h3被设定为相互不同的高度。然后，在步骤(S4)中，执行由升降用伺服马达(2X)进行的集体下降动作以及由3个超声波接合用头部(61～63)进行的超声波振动动作。此时，设定上述集体下降动作的下降速度V6、超声波振动动作的动作时间T6(min)及初始高度h1～h3间的调整间隙长Δg，以满足T6<Δg/V6。

Ultrasonic bonding method

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】超声波接合方法
本专利技术涉及超声波接合方法，特别涉及将在太阳能电池中使用的导电性部件作为接合对象物的超声波接合方法。
技术介绍
以往，在将作为导电性部件的集电用的电极线配置到薄膜类太阳能电池用的基板上表面之后，在将电极线向基板接合的工序中，使用超声波振动接合装置，该超声波振动接合装置执行一边向配置在基板上的电极线施加压力一边施加超声波的超声波接合处理。作为使用超声波振动接合装置进行的超声波接合方法，例如有在专利文献1中公开的部件接合方法。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2012－4280号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题另一方面，由于太阳能电池用基板的大型化，接合点数增加，此外，在太阳能电池的量产推进过程中，生产节拍的缩短是必须的。所以，可以考虑使用分别具有超声波接合部的多个超声波振动接合装置，对于太阳能电池的电极线等的接合对象物由多个超声波接合部在多个接合部位同时进行超声波接合的多部位超声波接合方法。但是，以往的多部位超声波接合方法从多个超声本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种超声波接合方法，使用超声波振动接合装置进行，其特征在于，/n上述超声波振动接合装置具备多个超声波接合用头部(61～63)，该多个超声波接合用头部(61～63)分别具有超声波接合部(16a)并且通过从多个超声波接合部施加超声波振动而执行多个超声波振动动作；/n上述超声波接合方法具备：/n步骤(a)，将接合对象物(31、33)向工作台(30)上配置；以及/n步骤(b)，以上述接合对象物为超声波接合对象，对上述多个超声波接合用头部进行控制而执行上述多个超声波振动动作的步骤；/n上述步骤(b)以满足在上述多个超声波接合用头部间上述超声波振动动作在时间上不重复的超声波时间条件的方式，执行上述多个...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种超声波接合方法，使用超声波振动接合装置进行，其特征在于，
上述超声波振动接合装置具备多个超声波接合用头部(61～63)，该多个超声波接合用头部(61～63)分别具有超声波接合部(16a)并且通过从多个超声波接合部施加超声波振动而执行多个超声波振动动作；
上述超声波接合方法具备：
步骤(a)，将接合对象物(31、33)向工作台(30)上配置；以及
步骤(b)，以上述接合对象物为超声波接合对象，对上述多个超声波接合用头部进行控制而执行上述多个超声波振动动作的步骤；
上述步骤(b)以满足在上述多个超声波接合用头部间上述超声波振动动作在时间上不重复的超声波时间条件的方式，执行上述多个超声波振动动作。


2.如权利要求1所述的超声波接合方法，其特征在于，
上述超声波振动接合装置还具备执行使上述多个超声波接合用头部一起下降的下降动作的头部移动机构(2X)；
上述步骤(b)包括：
步骤(b－1)，向上述接合对象物的上方配置上述多个超声波接合用头部；以及
步骤(b－2)，对上述头部移动机构进行控制而执行上述下降动作，将上述多个超声波接合部各自与上述接合对象物的接触时刻作为上述多个超声波振动动作的执行开始时刻而执行上述多个超声波振动动作；
上述步骤(b－1)将上述多个超声波接合用头部以初始设定状态进行配置，以使得作为从上述接合对象物到上述多个超声...

【专利技术属性】
技术研发人员：小林宏，山田义人，一濑明大，
申请(专利权)人：东芝三菱电机产业系统株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP