一种基于微结构的太赫兹动态相位调制器制造技术

本发明专利技术涉及使用于太赫兹波段的动态相位调制器件，具体涉及一种基于微结构的太赫兹动态相位调制器，动态且相位连续可调，属于电磁功能器件技术领域。本发明专利技术将设有HEMT的微结构结合微带线，利用微结构的馈电金属块输入调制信号，使得高电子迁移率晶体管HEMT的载流子浓度发生变化实现微结构的通断，从而实现太赫兹波的相位调制。本发明专利技术在实现精确小相位动态调制的同时，插入损耗低于1.87dB，在动态调制相位的同时保证了较好的工作性能，且调制速度高；并且结构简单，加工工艺成熟，制作方便；其次使用方便，可工作于常温常压的环境下，具有很好的应用潜力与前景。

【技术实现步骤摘要】
一种基于微结构的太赫兹动态相位调制器
本专利技术涉及使用于太赫兹波段的动态相位调制器件，具体涉及一种基于微结构的太赫兹动态相位调制器，动态且相位连续可调，属于电磁功能器件

技术介绍
太赫兹频率范围是0.1THz～10THz，处于此频率范围的电磁波统称为太赫兹波，这种电磁波频率在毫米波之上，红外之下，后两者已经得到了较为成熟地开发，而前者至今仍处于研究的前沿。其可解决物理学、化学、天文学、信息学和生命科学中一些基本科学问题，并且在高速通信、高精密成像、生命探测科学、外太空空间技术、雷达技术、高科技反恐等领域表现出了巨大的潜在利用价值，是二十一世纪必须占领的技术高地。雷达是我们国防建设和国民经济方面重要的电磁器件。在国防中其充当着战斗机以及导弹的眼睛，当战机进行交战时，必须使用雷达对对方战机进行位置的探测，当需要对敌方进行武装打击时，更需要雷达对导弹进行制导，所以说没有雷达就不可能成功构建现代战争体系。在现代民航和船舶系统中，我们使用雷达对交通工具的航行状态进行确认，指导飞机以及舰船的航线，确保航行的安全，所以在建设现代化交通体系本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于微结构的太赫兹动态相位调制器，其特征在于：包括(1)输入波导、(2)波导-微带线过渡结构、(3)微带线、(4)接地结构、(5)微结构、(6)输出波导和(7)金属电容结构；/n所述波导-微带线过渡结构有两个，分别为第一波导-微带线过渡结构和第二波导-微带线过渡结构；/n所述输入波导通过第一波导-微带线过渡结构与微带线连接，实现波导与微带线的一端连通；微带线的另一端经第二波导-微带线过渡结构与输出波导连通；/n所述接地结构和微结构均分别与微带线并连于微带线的两侧，其中接地结构提供接地的零电势；微结构通过输入的调制信号实现太赫兹波的相位调制。/n所述微结构包括金属电容结构、高电子迁移率晶...

【技术特征摘要】
1.一种基于微结构的太赫兹动态相位调制器，其特征在于：包括(1)输入波导、(2)波导-微带线过渡结构、(3)微带线、(4)接地结构、(5)微结构、(6)输出波导和(7)金属电容结构；
所述波导-微带线过渡结构有两个，分别为第一波导-微带线过渡结构和第二波导-微带线过渡结构；
所述输入波导通过第一波导-微带线过渡结构与微带线连接，实现波导与微带线的一端连通；微带线的另一端经第二波导-微带线过渡结构与输出波导连通；
所述接地结构和微结构均分别与微带线并连于微带线的两侧，其中接地结构提供接地的零电势；微结构通过输入的调制信号实现太赫兹波的相位调制。
所述微结构包括金属电容结构、高电子迁移率晶体管HEMT以及馈电金属块；
其中金属电容结构包含第一金属电容结构和第二金属电容结构两个，第一金属电容结构通过第一金属段与微带线连接，第二金属电容结构通过第二金属段与馈电金属块连接；高电子迁移率晶体管HEMT设置在第一和第二金属电容结构中间，与两金属电容结构共同构成二极管的结构；高电子迁移率晶体管HEMT靠近馈电金属块的一端为正电压加载电极，靠近微带线一端为负电压加载电极。


2.如权利要求1所述基于微结构的太赫兹动态相位调制器，其特征在于：所述微结构中的第一和第二金属段各自的长度与宽度，以及形状...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁华杰，张雅鑫，董亚洲，曾泓鑫，杨梓强，梁士雄，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：四川;51