压敏元件、压敏元件的制备方法和压力传感器技术

本发明专利技术公开了一种压敏元件、压敏元件的制备方法和压力传感器。压敏元件包括：基座，包括外壳以及信号输出件，外壳具有容纳腔室，信号输出件连接于外壳且至少部分延伸进入容纳腔室；感应件，与基座连接并封闭容纳腔室，感应件具有预定的缓冲变形能力，感应件包括相互连接的本体以及连接部，本体与外壳连接且连接部位于容纳腔室内，连接部以及与连接部连接的至少部分本体由不锈钢材料制成；检测组件，设置于容纳腔室并与信号输出件以及感应件连接，检测组件包括振动梁和检测电极，检测电极设置在振动梁面向感应件的表面并与信号输出件电连接，振动梁与连接部键合连接。本发明专利技术提供的压敏元件能够实现大量程的压力测量，而且测量精度高。

【技术实现步骤摘要】
压敏元件、压敏元件的制备方法和压力传感器
本专利技术涉及传感器
，特别是涉及一种压敏元件、压敏元件的制备方法和压力传感器
技术介绍
在现有的很多压力测试场合中，例如航空航天、舰船、能源领域及工业领域，有相当一部分都采用压力传感器对压力进行测量，大部分压力测试场合的被测件受到的压力比较恒定或者受到的压力在一个较窄的变化范围内。随着科技进步和很多压力传感器的使用要求的提高，在压力测试场合对被测件的施加压力范围也提出了更高的要求。而目前的压力传感器，无法满足对该压力区间连续控制的要求，或者，在测试较大压力时的测量精度较差，不能满足需求。因此，期望一种大量程、高精度的压力传感器。
技术实现思路
本专利技术实施例提供一种压敏元件、压敏元件的制备方法和压力传感器，其中压敏元件能够实现大量程的压力测量，而且，测量精度高。针对上述问题，根据本专利技术实施例提供一种压敏元件，包括：基座，包括外壳以及信号输出件，外壳具有容纳腔室，信号输出件连接于外壳且至少部分延伸进入容纳腔室；感应件，与基座连接并封闭容纳腔室，感应本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压敏元件，其特征在于，包括：/n基座，包括外壳以及信号输出件，所述外壳具有容纳腔室，所述信号输出件连接于所述外壳且至少部分延伸进入所述容纳腔室；/n感应件，与所述基座连接并封闭所述容纳腔室，所述感应件具有预定的缓冲变形能力，所述感应件包括相互连接的本体以及连接部，所述本体与所述外壳连接且所述连接部位于所述容纳腔室内，所述连接部以及与所述连接部连接的至少部分所述本体由不锈钢材料制成；/n检测组件，设置于所述容纳腔室并与所述信号输出件以及所述感应件连接，所述检测组件包括振动梁和检测电极，所述检测电极设置在所述振动梁面向所述感应件的表面并与所述信号输出件电连接，所述振动梁与所述连接部键合连接...

【技术特征摘要】
1.一种压敏元件，其特征在于，包括：
基座，包括外壳以及信号输出件，所述外壳具有容纳腔室，所述信号输出件连接于所述外壳且至少部分延伸进入所述容纳腔室；
感应件，与所述基座连接并封闭所述容纳腔室，所述感应件具有预定的缓冲变形能力，所述感应件包括相互连接的本体以及连接部，所述本体与所述外壳连接且所述连接部位于所述容纳腔室内，所述连接部以及与所述连接部连接的至少部分所述本体由不锈钢材料制成；
检测组件，设置于所述容纳腔室并与所述信号输出件以及所述感应件连接，所述检测组件包括振动梁和检测电极，所述检测电极设置在所述振动梁面向所述感应件的表面并与所述信号输出件电连接，所述振动梁与所述连接部键合连接。


2.根据权利要求1所述的压敏元件，其特征在于，所述检测组件由石英材料制成，所述振动梁与所述连接部通过玻璃浆料键合连接。


3.根据权利要求1所述的压敏元件，其特征在于，所述连接部的数量为两个及以上，两个及以上所述连接部间隔设置，所述连接部面向所述容纳腔室的表面和与所述连接部交叠的所述本体的表面之间相距预设距离；
其中，所述预设距离大于或等于100μm。


4.根据权利要求1所述的压敏元件，其特征在于，所述连接部为凸块结构；
所述连接部由所述本体面向所述容纳腔室的端面起始并向远离所述端面的方向延伸进入所述容纳腔室；或者，所述本体上设置有凹部，所述凹部由所述本体面向所述容纳腔室的端面起始并向远离所述容纳腔室的方向凹陷形成，所述连接部设置于所述凹部且面向所述容纳腔室的一端与所述端面共面。


5.根据权利要求1所述的压敏元件，其特征在于，所述检测组件进一步包括引线电极，所述引线电极设置于所述振动梁并与所述检测电极...

【专利技术属性】
技术研发人员：聂泳忠，
申请(专利权)人：西人马联合测控泉州科技有限公司，
类型：发明
国别省市：福建;35