晶圆盒贴标签装置及晶圆盒贴标签的方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种晶圆盒贴标签装置，包括：标签上料结构，用于提供卷状的标签纸，所述标签纸包括底纸和间隔设置于所述底纸上的多个空白标签；标签打印结构，用于在所述标签纸上的空白标签上打印条码信息；标签剥离结构，用于将打印了条码信息的标签和所述底纸进行剥离；标签检测结构，用于检测当前标签上的条码信息是否与预先存储的当前待贴标签的晶圆盒信息一致；晶圆盒传送结构，用于将待贴标签的晶圆盒传送至预设位置；标签移贴结构，包括万向机械臂和设置于所述机械臂一端的吸取部，用于将经过所述标签检测结构检测合格的标签粘贴于当前待贴标签的晶圆盒的至少一个表面的预设区域。本发明专利技术还涉及一种晶圆盒贴标签的方法。

Wafer box labeling device and wafer box labeling method

【技术实现步骤摘要】
晶圆盒贴标签装置及晶圆盒贴标签的方法
本专利技术涉及晶圆产品制作
，尤其涉及一种晶圆盒贴标签装置及晶圆盒贴标签的方法。
技术介绍
经过拉晶、成型、抛光和清洗，甚至外延等工序完成晶圆的制造后，通过分选机将晶圆装载到出货专用的晶圆盒(frontopenshippingbox，简称FOSB)内并连同晶圆盒一同发送给客户。装载有晶圆的晶圆盒在从晶圆厂出货前还需进行最后一道打包确认流程，通常包括如下几个步骤：扫描晶圆盒的盒子ID(通常为RFID标签)，以确认晶圆盒信息与系统中的出货信息相匹配；打印出系统上对应的待出货晶圆的标签(通常为带二维码和条形码的标签)，并将标签贴置在晶圆盒的指定的一个或多个位置；所有标签都贴好后再次扫描确认所有标签中的晶圆的批号信息(lotID)是否与出货信息相匹配，在完全匹配的情况下才将晶圆打包好，交付出货。目前对于打包确认流程都是由工作人员手动操作完成，即工作人员手动扫描晶圆盒ID，确认晶圆盒信息与系统中的出货信息是否相匹配，接着将系统生成的晶圆出货信息通过打印机打印标签上并贴于晶圆盒的指定的一个或多个位置，工作人员手动拿着扫码枪对标签依次进行扫描，保证每个条码都能被扫出来并与系统中的信息逐个比对，确保信息都准确无误，最后按照客户要求装箱打包，交付给客户。采取这种手动方式不足之处在于：第一，人工贴标会不可避免的出现漏贴、错贴、标签位置不统一等问题；第二，标签可能要贴于晶圆盒的多个表面，不容易扫到标签，需要转动或者翻转晶圆盒，在转动或者翻转晶圆盒时难免晃动晶圆盒中的晶圆，导致晶圆损坏甚至报废，而片晶圆的价值都很高，会造成大量损失；第三，对多个位置的标签检测通常出现重复及遗漏操作，导致标签缺失、标签信息无法读取及不匹配的情况时有发生，导致客户投诉率增加；第四，手动操作工作效率低下，生产成本增加。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本专利技术提供一种晶圆盒贴标签装置及晶圆盒贴标签的方法，解决人工贴标签容易出错、且效率低的问题。为了达到上述目的，本专利技术实施例采用的技术方案是：一种晶圆盒贴标签装置，包括：标签上料结构，用于提供卷状的标签纸，所述标签纸包括底纸和间隔设置于所述底纸上的多个空白标签；标签打印结构，用于在所述标签纸上的空白标签上打印条码信息；标签剥离结构，用于将打印有条码信息的标签与所述底纸进行剥离；标签检测结构，用于检测当前标签上的条码信息是否与预先存储的当前待贴标签的晶圆盒信息一致，若当前标签上的条码信息与预先存储的当前待贴标签的晶圆盒信息一致，则检测合格；晶圆盒传送结构，用于将待贴标签的晶圆盒传送至预设位置；标签移贴结构，包括万向机械臂和设置于所述机械臂一端的吸取部，用于将经过所述标签检测结构检测合格的标签粘贴于当前待贴标签的晶圆盒的至少一个表面的预设区域。可选的，所述标签打印结构包括第一载台以及设置于所述第一载台上的打印机，所述打印机包括进料口和出料口，所述进料口和所述出料口均设置有引导标签纸的移动方向的第一导向部。可选的，所述第一导向部包括固定于所述进料口或所述出料口的相对的两侧的两个固定架，以及沿第一方向层叠设置的两个第一导向杆，每个所述第一导向杆的两端分别固定于两个所述固定架上，两个所述第一导向杆之间具有能够使得标签纸通过的间隙，所述第一方向与所述标签的移动方向相垂直。可选的，所述标签上料结构包括第二载台，所述第二载台上固定有支架，所述支架上设置有能够固定卷状的标签纸的上料筒，所述上料筒位于所述打印机的进料口一侧，所述上料筒的延伸方向与所述第二载台的表面相平行，且所述上料筒的延伸方向与所述第一导向杆的延伸方向相平行。可选的，所述标签剥离结构包括基台和设置于所述基台上、相对设置的第一固定板和第二固定板，所述第一固定板和所述第二固定板之间沿着标签纸的移动方向依次设置有第二导向部、剥离部和底纸回收部；所述第二导向部包括第二导向杆和导向板，所述导向板包括两个相对设置的夹耳固定于所述第二导向杆上，所述第二导向杆和所述导向板之间具有能够使得标签纸通过的间隙；所述剥离部包括叠置且相平行设置的压板和托板，所述托板包括靠近所述导向板的第一端和与所述第一端相对设置的第二端，所述第一端与所述导向板位于同一平面，且所述托板沿着从所述第二端到所述第一端的方向倾斜设置、以使得标签纸通过所述压板和所述托板之间的间隙时、使得标签与底纸剥离；所述剥离部还包括位于所述托板远离所述导向板的一侧的剥离板，标签纸从所述托板和所述剥离板之间通过、标签位于所述剥离板的表面，底纸穿过所述托板和所述剥离板之间的间隙；所述底纸回收部包括一端固定于所述第一固定板上的收料筒，所述收料筒的延伸方向与标签纸的延伸方向相垂直、能够转动以缠绕与标签剥离的底纸。可选的，所述标签剥离结构还包括设置于所述第二导向部远离所述剥离部的一侧的第三导向部，所述第三导向部包括一端固定于所述第一固定板上的导向轴，所述导向轴的轴向方向与标签纸的移动方向相垂直，所述导向轴上套设有能够绕所述导向轴转动的导向轮，所述导向轮包括管状本体，和设置于所述管状本体的相对的两端的限位挡板。可选的，所述导向轴与所述基台之间的距离为第一距离、所述第二导向杆与所述基台之间的距离为第二距离、所述压板与所述基台之间的距离为第三距离，所述第一距离大于第二距离，所述第二距离大于所述第三距离。可选的，所述标签移贴结构包括基板，设置于所述基板上的旋转轴，所述机械臂与所述旋转轴的一端旋转连接；所述机械臂包括通过第一转动关节与所述旋转轴连接的第一连接臂，通过第二转动关节与所述第一连接臂连接的第二连接臂，通过第三转动关节与所述第二连接臂转动连接的第三连接臂，通过第四转动关节与所述第三连接臂连接的第四连接臂；所述吸取部通过第五转动关节可转动的连接于所述第四连接臂的一端；其中，所述第一转动关节能够使得所述第一连接臂在垂直于所述基板所在的平面的第一平面内转动，所述第二转动关节能够使得所述第二连接臂在所述第一平面内转动，所述第三转动关节能够使得所述第三连接臂绕所述第二连接臂旋转，所述第四转动关节能够使得所述第四连接臂在所述第三连接臂所在的平面内转动，所述第五转动关节能够使得所述吸取部绕所述第四连接臂旋转。可选的，所述吸取部包括吸附板，所述吸附板上设置有与抽真空装置连接的吸附孔。可选的，所述标签检测结构与所述吸取部集成设置，所述标签检测结构包括嵌设于所述吸附板的吸附面的条码信息获取部，以及用于识别所述条码信息获取部获取的条码信息的检测部。可选的，所述晶圆盒传送结构包括底座，所述底座上设置有传送带和晶圆盒位置信息获取部，所述晶圆盒位置信息获取部包括图像获取单元和位置信息获取单元；所述底座上、位于所述传送带的一侧的区域设置固定支架，所述固定支架上设置有图像获取单元，所述图像获取单元用于获取所述传送带上的晶圆盒的图像，所述位置信息获取单元用于根据所述图像获取单元获取的图像控制所述传送带的速度、以使得当前待贴标签的晶圆盒停止在预设位本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆盒贴标签装置，其特征在于，包括：/n标签上料结构，用于提供卷状的标签纸，所述标签纸包括底纸和间隔设置于所述底纸上的多个空白标签；/n标签打印结构，用于在所述标签纸上的空白标签上打印条码信息；/n标签剥离结构，用于将打印有条码信息的标签与所述底纸进行剥离；/n标签检测结构，用于检测当前标签上的条码信息是否与预先存储的当前待贴标签的晶圆盒信息一致，若当前标签上的条码信息与预先存储的当前待贴标签的晶圆盒信息一致，则检测合格；/n晶圆盒传送结构，用于将待贴标签的晶圆盒传送至预设位置；/n标签移贴结构，包括万向机械臂和设置于所述机械臂一端的吸取部，用于将经过所述标签检测结构检测合格的标签粘贴于当前待贴标签的晶圆盒的至少一个表面的预设区域。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆盒贴标签装置，其特征在于，包括：
标签上料结构，用于提供卷状的标签纸，所述标签纸包括底纸和间隔设置于所述底纸上的多个空白标签；
标签打印结构，用于在所述标签纸上的空白标签上打印条码信息；
标签剥离结构，用于将打印有条码信息的标签与所述底纸进行剥离；
标签检测结构，用于检测当前标签上的条码信息是否与预先存储的当前待贴标签的晶圆盒信息一致，若当前标签上的条码信息与预先存储的当前待贴标签的晶圆盒信息一致，则检测合格；
晶圆盒传送结构，用于将待贴标签的晶圆盒传送至预设位置；
标签移贴结构，包括万向机械臂和设置于所述机械臂一端的吸取部，用于将经过所述标签检测结构检测合格的标签粘贴于当前待贴标签的晶圆盒的至少一个表面的预设区域。


2.根据权利要求1所述的晶圆盒贴标签装置，其特征在于，所述标签打印结构包括第一载台以及设置于所述第一载台上的打印机，所述打印机包括进料口和出料口，所述进料口和所述出料口均设置有引导标签纸的移动方向的第一导向部。


3.根据权利要求2所述的晶圆盒贴标签装置，其特征在于，所述第一导向部包括固定于所述进料口或所述出料口的相对的两侧的两个固定架，以及沿第一方向层叠设置的两个第一导向杆，每个所述第一导向杆的两端分别固定于两个所述固定架上，两个所述第一导向杆之间具有能够使得标签纸通过的间隙，所述第一方向与所述标签的移动方向相垂直。


4.根据权利要求3所述的晶圆盒贴标签装置，其特征在于，所述标签上料结构包括第二载台，所述第二载台上固定有支架，所述支架上设置有能够固定卷状的标签纸的上料筒，所述上料筒位于所述打印机的进料口一侧，所述上料筒的延伸方向与所述第二载台的表面相平行，且所述上料筒的延伸方向与所述第一导向杆的延伸方向相平行。


5.根据权利要求2所述的晶圆盒贴标签装置，其特征在于，所述标签剥离结构包括基台和设置于所述基台上、相对设置的第一固定板和第二固定板，所述第一固定板和所述第二固定板之间沿着标签纸的移动方向依次设置有第二导向部、剥离部和底纸回收部；
所述第二导向部包括第二导向杆和导向板，所述导向板包括两个相对设置的夹耳固定于所述第二导向杆上，所述第二导向杆和所述导向板之间具有能够使得标签纸通过的间隙；
所述剥离部包括叠置且相平行设置的压板和托板，所述托板包括靠近所述导向板的第一端和与所述第一端相对设置的第二端，所述第一端与所述导向板位于同一平面，且所述托板沿着从所述第二端到所述第一端的方向倾斜设置、以使得标签纸通过所述压板和所述托板之间的间隙时、使得标签与底纸剥离；
所述剥离部还包括位于所述托板远离所述导向板的一侧的剥离板，标签纸从所述托板和所述剥离板之间通过、标签位于所述剥离板的表面，底纸穿过所述托板和所述剥离板之间的间隙；
所述底纸回收部包括一端固定于所述第一固定板上的收料筒，所述收料筒的延伸方向与标签纸的延伸方向相垂直、能够转动以缠绕与标签剥离的底纸。


6.根据权利要求5所述的晶圆盒贴标签装置，其特征在于，所述标签剥离结构还包括设置于所述第二导向部远离所述剥离部的一侧的第三导向部，所述第三导向部包括一端固定于所述第一固定板上的导向轴，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒲以松，
申请(专利权)人：西安奕斯伟硅片技术有限公司，
类型：发明
国别省市：陕西;61