本发明专利技术公布了一种半导体生产用空气净化装置，其包括，净化壳体、传动进风机构、切换进风机构，所述的净化壳体为长方体结构，传动进风机构、切换进风机构安装于净化壳体内，净化壳体内设置有进风管、净化器、排风管，进风管呈水平布置，进风管的两端与外界连通，进风管上接通有连接壳体，连接壳体靠近净化壳体的一侧，连接壳体上接通有连通管，当通风壳体二处于打开状态时，进风管内气体经进风管的另一端部排出，从而除去杂质气体，挡块一、挡块二与连接板相抵时，能够减缓连接板的移动速度，从而减缓通风壳体一、通风壳体二的启闭速度，因此能够将杂质气体经进气管排尽。
【技术实现步骤摘要】
一种半导体生产用空气净化装置
本专利技术涉及空气净化
，具体涉及一种半导体生产用空气净化装置。
技术介绍
半导体，指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用。如二极管就是采用半导体制作的器件。半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料。半导体组件加工时，微尘颗粒沾附在制作半导体组件的晶圆上，便有可能影响到其上精密导线布局的样式，造成电性短路或断路的严重后果。为此，所有半导体制程设备，都必须安置在隔绝粉尘进入的密闭空间中，为此，需要一种半导体生产的空气净化装置。
技术实现思路
为解决现有技术的不足，本专利技术的目的提供一种半导体生产用空气净化装置。为实现上述技术目的，本专利技术所采用的技术方案如下。一种半导体生产用空气净化装置，其包括：净化壳体、传动进风机构、切换进风机构，所述的净化壳体为长方体结构，传动进风机构、切换进风机构安装于净化壳体内，净化壳体内设置有进风管、净化器、排风管，进风管呈水平布置，进风管的两端与外界连通，进风管上接通有连接壳体，连接壳体靠近净化壳体的一侧，连接壳体上接通有连通管，连通管靠近连接壳体，净化器安装于净化壳体内并且靠近净化壳体的顶部，连通管的顶端与净化器接通，所述的排风管的一端与净化器接通、另一端伸入至半导体生产室内，所述的进风管上连通有通风壳体二，排风管上连通有通风壳体一，传动进风机构设置于连接壳体的一侧，净化壳体内设置有安装板，所述的传动进风机构包括电机、带轮一、扇叶、带轮二、转轴、伸缩杆、配重球，电机安装于安装板上，电机的输出轴呈水平布置，带轮一套设于电机的输出轴端，电机的输出轴上还套设有扇叶，扇叶处于连接壳体内，所述的转轴水平连接于安装板上，带轮二同轴固定套设于转轴的一端部，带轮一与带轮二之间通过皮带传动，转轴的另一端部水平延伸并且处于通风壳体一、通风壳体二之间，通风壳体一、通风壳体二之间设置有用于控制通风壳体一、通风壳体二之间启闭的启闭组件，启闭组件与转轴连接。作为本技术方案的进一步改进，所述的净化壳体内竖直设置有导杆，导杆设置有两个并且呈平行布置，导杆的底部设置有限位板，所述的切换进风机构包括挡板一、挡板二，挡板一呈竖直布置，挡板一插接于通风壳体一内，挡板二呈竖直布置，挡板二插接于通风壳体二内，挡板一、挡板二上开设有通风孔，挡板一的底部水平设置有连接板，挡板一通过连接板套设于两导杆上，导杆上套设有弹簧一，弹簧一的一端与连接板相抵、另一端与净化壳体的顶部相抵，挡板二与连接板连接，连接板的底部设置有导板，转轴的端部连接有伸缩杆，伸缩杆的端部设置有配重球，导板的底面呈圆弧形，配重球与导板接触。作为本技术方案的进一步改进，净化壳体内设置有限位组件，限位组件包括支撑板、导柱一、导柱二、挡块一、挡块二，支撑板水平连接于净化壳体内，导柱一、导柱二连接于支撑板上，导柱一、导柱二的一端部分别设置有挡块一、挡块二，挡块一、挡块二处于连接板的上方并且与连接板接触，挡块一、挡块二的上下两端面均呈倾斜布置，导柱一、导柱二的另一端部设置有挡板，导柱一、导柱二穿过连接板的板面，导柱一、导柱二上套设有弹簧二，弹簧二的一端与支撑板相抵、另一端与挡块一、挡块二相抵。作为本技术方案的进一步改进，净化器的底部开设有排料口，净化器的底部设置有用于对杂质进行排料的排料机构，排料机构包括拨轮、转轮、连接杆、连杆、排料壳体、漏料槽，连通管上接通有安装壳体，拨轮活动安装于安装壳体内，转轮处于净化器的底部，转轮与净化器的底部之间通过连接轴相连，拨轮的中心轴与转轮之间通过皮带传动，连接杆设置于转轮上，连接杆靠近转轮的边沿，排料壳体设置于净化器的底部，排料壳体与净化器的底部滑动配合，漏料槽开设于排料壳体上，连杆的一端与连接杆铰接、另一端与排料壳体铰接。作为本技术方案的进一步改进，净化壳体内设置有导料槽，导料槽呈倾斜布置，导料槽的一端处于排料壳体的下方、另一端伸出至净化壳体外。本专利技术与现有技术相比，本专利技术的有益效果在于：本专利技术使用过程中，当通风壳体二处于打开状态时，进风管内气体经进风管的另一端部排出，从而除去杂质气体，挡块一、挡块二与连接板相抵时，能够减缓连接板的移动速度，从而减缓通风壳体一、通风壳体二的启闭速度，因此能够将杂质气体经进气管排尽，排料壳体的漏料槽与净化器的底部的排料口重合，净化器内的杂质能够经漏料槽排出，当漏料槽与净化器的底部的排料口分离时，排料壳体能够对净化器的底部的排料口进行封堵，从而避免净化壳体内的气体进入至净化器内。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对本专利技术实施例中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面所描述的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术的整体结构示意图。图2为本专利技术的净化壳体内部结构示意图。图3为本专利技术的传动进风机构示意图。图4为本专利技术的传动进风机构与切换进风机构配合示意图。图5为本专利技术的挡板一与伸缩杆配合示意图。图6为本专利技术的限位组件示意图。图7为本专利技术的排料机构安装示意图。图8为本专利技术的排料机构示意图。图中标示为：10、净化壳体；110、进风管；120、连通管；130、净化器；140、排风管；150、连接壳体；160、安装壳体；170、导料槽；180、导杆；20、传动进风机构；210、电机；220、带轮一；230、扇叶；240、带轮二；250、转轴；260、伸缩杆；270、配重球；30、切换进风机构；310、通风壳体一；320、通风壳体二；330、挡板一；331、连接板；332、导板；340、挡板二；350、限位组件；351、支撑板；352、导柱一；353、导柱二；354、挡块一；355、挡块二；40、排料机构；410、拨轮；420、转轮；430、连接杆；440、连杆；450、排料壳体；460、漏料槽。具体实施方式下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本专利技术的技术方案。其中，附图仅用于示例性说明，表示的仅是示意图，而非实物图，不能理解为对本专利的限制；为了更好地说明本专利技术的实施例，附图某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸；对本领域技术人员来说，附图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的。本专利技术实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件；在本专利技术的描述中，需要理解的是，若出现术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。在本专利技术的描述中，除非另有明确的规定和限本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种半导体生产用空气净化装置，其特征在于，其包括：/n净化壳体、传动进风机构、切换进风机构，所述的净化壳体为长方体结构，传动进风机构、切换进风机构安装于净化壳体内，净化壳体内设置有进风管、净化器、排风管，进风管呈水平布置，进风管的两端与外界连通，进风管上接通有连接壳体，连接壳体靠近净化壳体的一侧，连接壳体上接通有连通管，连通管靠近连接壳体，净化器安装于净化壳体内并且靠近净化壳体的顶部，连通管的顶端与净化器接通，所述的排风管的一端与净化器接通、另一端伸入至半导体生产室内，所述的进风管上连通有通风壳体二，排风管上连通有通风壳体一，传动进风机构设置于连接壳体的一侧，净化壳体内设置有安装板，所述的传动进风机构包括电机、带轮一、扇叶、带轮二、转轴、伸缩杆、配重球，电机安装于安装板上，电机的输出轴呈水平布置，带轮一套设于电机的输出轴端，电机的输出轴上还套设有扇叶，扇叶处于连接壳体内，所述的转轴水平连接于安装板上，带轮二同轴固定套设于转轴的一端部，带轮一与带轮二之间通过皮带传动，转轴的另一端部水平延伸并且处于通风壳体一、通风壳体二之间，通风壳体一、通风壳体二之间设置有用于控制通风壳体一、通风壳体二之间启闭的启闭组件，启闭组件与转轴连接。/n...
【技术特征摘要】
1.一种半导体生产用空气净化装置，其特征在于，其包括：
净化壳体、传动进风机构、切换进风机构，所述的净化壳体为长方体结构，传动进风机构、切换进风机构安装于净化壳体内，净化壳体内设置有进风管、净化器、排风管，进风管呈水平布置，进风管的两端与外界连通，进风管上接通有连接壳体，连接壳体靠近净化壳体的一侧，连接壳体上接通有连通管，连通管靠近连接壳体，净化器安装于净化壳体内并且靠近净化壳体的顶部，连通管的顶端与净化器接通，所述的排风管的一端与净化器接通、另一端伸入至半导体生产室内，所述的进风管上连通有通风壳体二，排风管上连通有通风壳体一，传动进风机构设置于连接壳体的一侧，净化壳体内设置有安装板，所述的传动进风机构包括电机、带轮一、扇叶、带轮二、转轴、伸缩杆、配重球，电机安装于安装板上，电机的输出轴呈水平布置，带轮一套设于电机的输出轴端，电机的输出轴上还套设有扇叶，扇叶处于连接壳体内，所述的转轴水平连接于安装板上，带轮二同轴固定套设于转轴的一端部，带轮一与带轮二之间通过皮带传动，转轴的另一端部水平延伸并且处于通风壳体一、通风壳体二之间，通风壳体一、通风壳体二之间设置有用于控制通风壳体一、通风壳体二之间启闭的启闭组件，启闭组件与转轴连接。
2.根据权利要求1所述的一种半导体生产用空气净化装置，其特征在于，所述的净化壳体内竖直设置有导杆，导杆设置有两个并且呈平行布置，导杆的底部设置有限位板，所述的切换进风机构包括挡板一、挡板二，挡板一呈竖直布置，挡板一插接于通风壳体一内，挡板二呈竖直布置，挡板二插接于通风壳体二内，挡板一、挡板二上开设有通风孔，挡板一的底部水平设置有连接板，挡板一通过连接板套设于两导杆上，导...
【专利技术属性】
技术研发人员：林明青，
申请(专利权)人：烟台贝伦环保科技有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37
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