自动匀胶系统以及传输定位装置制造方法及图纸

本申请公开了自动匀胶系统以及传输定位装置。传输定位装置包括：用于承载基片的传送单元；驱动机构，包括：用于带动传送单元沿传送方向移动的传送带和用于驱动传送带的电机组件，传送带在传送方向上具有相对的起始端和终止端，终止端设置有用于固定基片的转盘；用于检测基片的中心与转盘的中心相重合并发出到位信号的第一检测单元；用于固定转盘与基片的固定机构；中央控制器，中央控制器在接收到第一检测单元发出的到位信号后，能启动固定机构并停止驱动机构，基片固定在转盘上。本申请能够实现基片的自动定位以及精确定位，提高成膜质量。

【技术实现步骤摘要】
自动匀胶系统以及传输定位装置
本申请涉及半导体制造领域，具体涉及一种自动匀胶系统以及传输定位装置。
技术介绍
匀胶机是一种利用旋转产生的离心力，将光刻胶均匀甩开，并将光刻胶平铺到基片表面的机械装置。目前适用于半导体基片、载玻片、晶圆的半导体工艺、制版及表面涂覆等工艺。理想情况下，基片的中心应该位于滴管的正下方，从而保证基片表面能够形成厚度均一的薄膜。现有技术中，用于涂覆工艺的匀胶装置，多为人工送片，通过人工手段将基片送入至匀胶机的旋涂表面。采用人工送片无法保证每次送片的位置精确。基片的位置不精确容易导致旋涂过程中成膜品质不均，无法使得基片表面形成厚度均一的薄膜。若每次送片的位置不统一，每次获取的基片表面薄膜均匀性也将存在较大差异。另外，现有技术中，在匀胶过程中一般采用人工手段进行滴胶。手工滴胶不能准确控制每次制备薄膜时的滴胶量，形成的每张薄膜的厚度不统一。如果每次滴胶达不到标准滴胶量，需要进行多次滴胶直至达到标准滴胶量，在分次滴胶的期间容易产生气泡，也会影响成膜的质量。应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本技术的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本技术的
技术介绍
部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。
技术实现思路
为了解决上述至少一个技术问题，本申请提供了一种自动匀胶系统以及传输定位装置，能够实现基片的自动定位以及精确定位，提高成膜质量。为了实现上述目的，本申请提供的技术方案如下所述：一种自动匀胶系统，所述自动匀胶系统包括：传输定位装置，包括：用于承载基片的传送单元；驱动机构，所述驱动机构包括：用于带动所述传送单元沿传送方向移动的传送带和用于驱动所述传送带的电机组件，所述传送带在所述传送方向上具有相对的起始端和终止端，所述终止端设置有用于固定基片的转盘；用于检测所述基片的中心与所述转盘的中心相重合并发出到位信号的第一检测单元；用于固定所述转盘与所述基片的固定机构；滴胶装置，所述滴胶装置用于向所述转盘的中心滴胶；匀胶装置，所述匀胶装置用于带动所述转盘旋转；中央控制器，所述中央控制器在接收到所述第一检测单元发出的到位信号后，能启动所述固定机构并停止所述驱动机构，所述基片固定在所述转盘上。作为一种优选的实施方式，所述传输定位装置还包括：设置在所述起始端的第二检测单元，用于检测所述基片位于所述起始端并生成传输信号，所述中央控制器在接收到所述传输信号后，启动所述驱动机构。作为一种优选的实施方式，所述驱动机构包括：相平行的第一传送带和第二传送带，所述第一传送带和所述第二传送带间隔设置，所述传送单元由所述第一传送带和所述第二传送带共同传送；用于驱动所述第一传送带的第一传输电机组件；用于驱动所述第二传送带的第二传输电机组件。作为一种优选的实施方式，所述第一检测单元和所述第二检测单元具体为对射式传感器，所述对射式传感器的高度位于所述转盘与所述基片之间；所述对射式传感器包括发射端和接收端，所述发射端和所述接收端的其中一个设置在所述传送带的一侧，所述发射端和所述接收端的其中另一个设置在所述传送带的另一侧。作为一种优选的实施方式，所述固定机构包括：真空泵、真空管路，所述真空泵用于建立所述转盘与所述基片之间的预定真空度，所述转盘的底部通过抽气孔与所述真空管路相连。作为一种优选的实施方式，所述转盘具有吸附表面，所述吸附表面设置有至少一道环形凹槽，所述环形凹槽与所述抽气孔相连。作为一种优选的实施方式，所述滴胶装置包括：用于盛装滴胶溶液的进料机构；用于向所述进料机构提供惰性气体的输气机构，所述输气机构包括电磁阀和送气管路，所述送气管路上设置有气动阀，所述送气管路与所述进料机构相连；用于监测滴胶溶液量参数的第三检测单元，中央控制器能建立所述第三检测单元与所述电磁阀之间的反馈回路，调节所述电磁阀的打开或关闭状态。作为一种优选的实施方式，所述自动匀胶系统还包括：壳体，所述壳体内部有匀胶腔室，至少所述传输定位装置、所述匀胶装置和所述进料机构放置于所述匀胶腔室中；所述壳体设置有用于封闭所述匀胶腔室的盖体，所述盖体上设有锁单元，所述锁单元与所述中央控制器电性连接。一种传输定位装置，包括：用于承载基片的传送单元；驱动机构，所述驱动机构包括：用于带动所述传送单元沿传送方向移动的传送带和用于驱动所述传送带的电机组件，所述传送带在所述传送方向上具有相对的起始端和终止端，所述终止端设置有用于固定基片的转盘；用于检测所述基片的中心与所述转盘的中心相重合并发出到位信号的第一检测单元；用于固定所述转盘与所述基片的固定机构；中央控制器，所述中央控制器在接收到所述第一检测单元发出的到位信号后，能启动所述固定机构并停止所述驱动机构，所述基片固定在所述转盘上。作为一种优选的实施方式，所述驱动机构包括：相平行的第一传送带和第二传送带，所述第一传送带和所述第二传送带间隔设置，所述传送单元由所述第一传送带和所述第二传送带共同传送；用于驱动所述第一传送带的第一传输电机组件；用于驱动所述第二传送带的第二传输电机组件。有益效果：本申请实施方式提供的自动匀胶系统以及传输定位装置，能够通过第一检测单元及时检测基片传输至基片的中心与转盘的中心相重合并发出到位信号。当第一检测单元发出到位信号后，中央控制器能启动固定机构并停止所述驱动机构，使得基片能固定在转盘上，保证基片的定位准确和定位可靠性，提高成膜质量。本申请提供的自动匀胶系统，包括中央控制器，中央控制器可以调节传输定位装置中的驱动机构、固定机构、滴胶装置和匀胶装置的工作状态或停止状态，实现自动匀胶。另外，本申请中的滴胶装置通过输入惰性气体加压滴胶，并通过中央控制器建立第三检测单元与电磁阀之间的反馈回路，使每次滴胶量均匀，降低用胶成本并减少气泡，提高光刻胶的匀胶品质。参照后文的说明和附图，详细公开了本申请的特定实施方式，指明了本申请的原理可以被采用的方式。应该理解，本申请的实施方式在范围上并不因而受到限制。针对一种实施方式描述和/或示出的特征可以以相同或类似的方式在一个或更多个其它实施方式中使用，与其它实施方式中的特征相组合，或替代其它实施方式中的特征。应该强调，术语“包括/包含”在本文使用时指特征、整件、步骤或组件的存在，但并不排除一个或更多个其它特征、整件、步骤或组件的存在或附加。附图说明为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动力的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本申请实施例提供的自动匀胶系统的结构示意图；图2为本申请实施例提供的转盘的结构示意图；图3为本申请实施例提供的自动匀胶过程的流程本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种自动匀胶系统，其特征在于，所述自动匀胶系统包括：/n传输定位装置，包括：用于承载基片的传送单元；驱动机构，所述驱动机构包括：用于带动所述传送单元沿传送方向移动的传送带和用于驱动所述传送带的电机组件，所述传送带在所述传送方向上具有相对的起始端和终止端，所述终止端设置有用于固定基片的转盘；用于检测所述基片的中心与所述转盘的中心相重合并发出到位信号的第一检测单元；用于固定所述转盘与所述基片的固定机构；/n滴胶装置，所述滴胶装置用于向所述转盘的中心滴胶；/n匀胶装置，所述匀胶装置用于带动所述转盘旋转；/n中央控制器，所述中央控制器在接收到所述第一检测单元发出的到位信号后，能启动所述固定机构并停止所述驱动机构，所述基片固定在所述转盘上。/n

【技术特征摘要】
1.一种自动匀胶系统，其特征在于，所述自动匀胶系统包括：
传输定位装置，包括：用于承载基片的传送单元；驱动机构，所述驱动机构包括：用于带动所述传送单元沿传送方向移动的传送带和用于驱动所述传送带的电机组件，所述传送带在所述传送方向上具有相对的起始端和终止端，所述终止端设置有用于固定基片的转盘；用于检测所述基片的中心与所述转盘的中心相重合并发出到位信号的第一检测单元；用于固定所述转盘与所述基片的固定机构；
滴胶装置，所述滴胶装置用于向所述转盘的中心滴胶；
匀胶装置，所述匀胶装置用于带动所述转盘旋转；
中央控制器，所述中央控制器在接收到所述第一检测单元发出的到位信号后，能启动所述固定机构并停止所述驱动机构，所述基片固定在所述转盘上。


2.如权利要求1所述的一种自动匀胶系统，其特征在于，所述传输定位装置还包括：设置在所述起始端的第二检测单元，用于检测所述基片位于所述起始端并生成传输信号，所述中央控制器在接收到所述传输信号后，启动所述驱动机构。


3.如权利要求1所述的一种自动匀胶系统，其特征在于，所述驱动机构包括：相平行的第一传送带和第二传送带，所述第一传送带和所述第二传送带间隔设置，所述传送单元由所述第一传送带和所述第二传送带共同传送；用于驱动所述第一传送带的第一传输电机组件；用于驱动所述第二传送带的第二传输电机组件。


4.如权利要求2所述的一种自动匀胶系统，其特征在于，所述第一检测单元和所述第二检测单元具体为对射式传感器，所述对射式传感器的高度位于所述转盘与所述基片之间；所述对射式传感器包括发射端和接收端，所述发射端和所述接收端的其中一个设置在所述传送带的一侧，所述发射端和所述接收端的其中另一个设置在所述传送带的另一侧。


5.如权利要求1所述的一种自动匀胶系统，其特征在于，所述固定机构包括：真空泵、真空管路，所述真空泵用于建立所述转盘与所述基片之间的预定真空度，所述转盘的底部通过抽气孔与所述真空管路相连。...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏学良，曹旭东，张瑞，吴祖豪，刘伟，
申请(专利权)人：中国石油大学北京，
类型：新型
国别省市：北京;11