本发明专利技术公开一种定时发生器（２０），其在对应于时钟信号的输入定时而输出输出信号的触发器（基准信号延迟单元）（３１）的信号输入输出电路（３０）中，不在该触发器（３１）的输出端子侧而在时钟信号的输入端子侧设置延迟电路（可变延迟单元、时钟信号延迟电路）（３２），并为该时钟信号施加延迟。另外，能够设置相位同步环电路（３４），以替代该时钟信号延迟电路。从而能够降低模式依存性抖动，并减少定时发生器中的定时脉冲信号的定时误差。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种定时发生器以及备有此的半导体试验装置，其中所述定时发生器为了采用试验装置整体的测试周期信号和测试定时(timing)，而发生定时脉冲(timing pulse)信号。
技术介绍
在说明本专利技术之前，参照图5说明以往的半导体试验装置的大概。以半导体集成电路(DUT被试验装置)10为试验对象的半导体试验装置1，如该图所示的那样，作为主要的结构，备有进行半导体试验装置1的整体的控制的测试处理器(图中未示出)；生成试验模式和期望值模式等的模式发生器11；将来自该模式发生器11的试验模式(pattern)整形为测试信号波形并通过驱动器14向DUT10发送的波形整形器12；通过比较器15将从DUT10发送而来的试验结果和来自模式发生器11的期望值模式进行理论比较而检测其一致/不一致，而进行DUT10的良好与否判断的模式比较器13；产生定时脉冲信号并施加于波形整形器12、比较器15、模式比较器13且采用测试的定时的定时发生器20等。其中，定时发生器20，如图6所示的那样，具有决定半导体装置1的整体的测试周期的周期发生部21；用于将规定的定时(timing)赋于DUT10的LSI的各管脚和模式比较器13的多个的延迟发生部22-1～22-n。延迟发生部22-1～22-n，备有周期运算单元23，其基于模式周期数据(R1)计算出模式周期的端数数据(fraction data)，并取得与来自输入端子a0的周期开始数据的同步，并发送端数数据；延迟运算单元24，其将来自该运算单元23的端数数据与设定迟延数据(R2)加算并输出整数数据和端数数据；基准信号延迟单元310，其通过来自该延迟运算单元24的整数数据将来自周期发生部21的基准信号(基准时钟)延迟；可变延迟单元320，其通过来自延迟运算单元24的端数数据将来自该基准信号延迟单元310的基准信号延迟，并作为定时脉冲信号输出(例如，参照特开平11-125660号公报)。通过设计为这种结构，能够在定时发生器20中，产生以所望的时间延迟后的定时脉冲信号，并发送向模式比较器13等。另外，如图6所示那样，将包含周期运算单元23和延迟运算单元24并对基准信号的延迟时间进行算出的部分，作为延迟时间运算单元A。另外，将包含基准信号延迟单元310和可变延迟单元320并将基准信号延迟的部分，作为信号输入输出电路300。然而，在以往的定时发生器20的延迟发生部22-1～22-n上设置的可变延迟单元320，将赋予延迟的对象，作为从基准信号延迟单元310输出的基准信号，因此存在容易产生模式(pattern)依存性抖动(shorttime/jitter或thermal/drift/jitter)的情况，在其中存在如下问题即从定时发生器20输出的定时脉冲信号中容易存在产生定时(timing)误差。图7示出了用于说明该模式依存性抖动产生的样子的电路图。在该图是示出了信号输入输出电路300的电路结构的图所述信号输入输出电路300对于所输入的数据信号(Data)，取得与时钟信号(Clock)的同步，并以规定时间使之延迟后向外部输出。若进一步说明该信号输入输出电路300，则具有触发器310(相当于图6中的基准信号延迟单元310)，其通过时钟信号(用于对输出定时进行测量的时钟)的输入定时将所输入的数据信号(相当于以往的定时发生器20(图6)中从周期发生部21向延迟发生部22-1～22-n发送的基准信号)输出；延迟电路320(相当于图6中的可变延迟单元320)，其连接在该触发器310的输出端子侧，并将其输出的数据信号规定时间延迟后向外部输出。并且，假设数据信号是随机模式(脉冲波随机产生的模式)、时钟信号是连续模式(脉冲波在一定周期内连续发生的模式)，则延迟电路320连接在随机模式中脉冲波通过的路径(随机模式通过路径，该图C)，在随机模式通过路径中，成为容易产生模式依存性抖动的状态。这里，在模式依存性抖动中，存在短时间·抖动、热·漂移·抖动。首先，对短时间·抖动进行说明。所谓短时间·抖动，是指在产生多个脉冲波的情况下一个脉冲沿(edge)(所被关注的的脉冲沿)受到过去的边缘的影响而产生波动的情况。例如，如图8(a)所示的那样，在脉冲波连续产生时，具有该被关注的脉冲沿的脉冲波中的过去的脉冲沿(具有附加了“●”的脉冲沿的脉冲波中的附加“○”的脉冲沿，该图(1))，以及过去所产生的脉冲波的各脉冲沿(具有附加了“●”的脉冲沿的脉冲波以外的、过去的脉冲波中的附加了“○”的脉冲沿，该图(2)、(3))。另一方面，如图8(b)所示的那样，在脉冲波单发而产生时，以具有该被关注的脉冲沿的脉冲波中的过去脉冲沿(附加“○”的脉冲沿)为主，对于被关注的脉冲沿产生影响(该图(1))。另外，在该情况下，从具有被关注的脉冲沿的脉冲波观察，在过去较近的时间中其他脉冲波随机地发生，例如，在其过去较近的时间中脉冲波产生时，与图8(a)的(2)同样地，被关注的脉冲沿受到其过去的脉冲波的各脉冲沿影响。与此相对，在该时间在脉冲波不产生时，不受这里影响(参照图8(b)的(2)、(3))。这里，将在脉冲波连续产生的情况下对被关注的脉冲沿施加影响的脉冲沿，与脉冲波单发而发生的情况下对于被关注的脉冲沿施加影响的脉冲沿，进行比较。首先，对于具有被关注的脉冲沿的脉冲波中的过去的脉冲沿，均共通而施加影响(图8(a)中的(1)和图8(b)的(1)。接下来，从被关注的脉冲沿的产生时点观察，在经过某时间以上而产生的脉冲波中的脉冲沿产生影响，由于非常小而可以忽略(图8(a)的(3)和图8(b)的(3))。并且，在邻近于具有被关注的脉冲沿的脉冲波的产生时点的时间范围内，对于过去而产生的脉冲波中的各抖动，在脉冲波连续产生的情况下，其影响不同。例如，在脉冲波连续产生的情况下，如图8(a)所示那样，那些过去所产生的脉冲波的各脉冲沿对于被关注的脉冲沿施加了较大影响(图8(a)的(2))。与此相对，在脉冲波单发而发生的情况下，存在如下情况即在邻近于具有被关注的脉冲沿的脉冲波的产生时点的时间范围内过去脉冲波产生时和脉冲波不产生。在过去产生脉冲波时，与脉冲波连续产生的情况同样，对所被关注的脉冲沿产生较大的影响。另一方面，在过去不产生脉冲波时，由于不存在脉冲波，因此如图8(b)所示的那样，不对被关注的脉冲沿产生影响。由此，在脉冲波连续发生的情况下被关注的脉冲沿所受到的影响，与脉冲波单发而产生的情况下被关注的脉冲沿所受到的影响，因在接近于具有被关注的脉冲沿的脉冲波的产生时点的时间范围内过去是否发生了脉冲波而不同。也就是说，在脉冲波连续而产生的情况下，在接近于具有被关注的脉冲沿的脉冲波的产生时点的时间范围内，必定在过去产生脉冲波，被关注的脉冲沿从其他的脉冲沿所受到的影响恒常地为固定。为此，在那些连续的脉冲波通过的路径(连续时钟通过路径)中，没有必要考虑短时间·抖动。与此相对，在脉冲波单发而产生的情况下，因在接近于具有被关注的脉冲沿的脉冲波的发生时点的时间范围内是否产生脉冲波，其影响程度也不同。也就是说，受到过去的脉冲沿影响的模式(图8(c)中所示的模式)与几乎不受过去的脉冲沿影响的模式(图8(d)中所示的模式)随机产生，由此其影响变得不定。为此，在单发而发生的脉冲波通过的本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种定时发生器，使基准信号以规定时间延迟，并作为定时脉冲信号输出，其特征在于，备有：延迟时间运算单元，其对附加于所述基准信号的延迟时间进行计算；信号输入输出电路，其对应于由该延迟时间运算单元所计算出的所述延迟时间而使 所述基准信号延迟，该信号输入输出电路，具有：数据保持电路，其输入所述基准信号，并基于脉冲信号的输入定时输出所述基准信号；时钟信号延迟电路，其基于所述延迟时间使该数据保持电路中的所述时钟信号的输入定时延迟。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：越智高志，
申请(专利权)人：株式会社爱德万测试，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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