一种晶振片更换模块及蒸镀装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及半导体制造领域，公开一种晶振片更换模块及蒸镀装置。所述晶振片更换模块包括探头组件、存储组件和更换组件，存储组件包括存储盒体、工件盘、晶振片组件和第一驱动件，工件盘上设置有多个用于放置晶振片组件的存储工位，存储工位用于放置干净的晶振片组件或用于放置更换后的晶振片组件，第一驱动件用于控制工件盘在存储盒体内的运动；更换组件用于从探头组件中取下或安装上晶振片组件。所述蒸镀装置包括上述的晶振片更换模块。本实用新型专利技术在不间断蒸镀作业的前提下，能够快速方便地自动更换晶振片，延长了生产时间，降低了生产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种晶振片更换模块及蒸镀装置
本技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种晶振片更换模块及蒸镀装置。
技术介绍
有机发光二极管(OrganicLightEmittingDiode)具有自发光、广视角、对比度高、耗电低、响应速度极快等优点。目前，制作有机发光二极管的主要方式是在真空环境下，使用蒸镀装置在基板上沉积各种功能层，形成OLED器件。在蒸镀OLED器件的功能层时，通常利用晶振探测器对基板上沉积材料的沉积速率及厚度进行监测。晶振探测器监测的原理是通过晶振探测器对晶振片的振动频率进行监测，进而对基板上沉积材料的沉积速率及厚度进行监控。然而，当晶振片表面附着的材料达到一定量时，会影响晶振片的振动频率，从而影响晶振探测器监测的准确性。为保证监测的准确性，需对晶振片进行更换。现有的晶振片在更换时，需要停止蒸镀装置，并调蒸镀装置于常压状态，然后打开相应的设备装置，继而对晶振片进行更换，更换完成后再密封蒸镀装置，对蒸镀装置再次调节为真空状态，然后继续进行蒸镀作业。现有晶振片更换装置使用过程极其繁琐，使蒸镀作业时间大大延长，尤其对于大型生产线来说，每次本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶振片更换模块，其特征在于，包括：/n探头组件(1)、存储组件(2)和更换组件(3)；/n所述存储组件(2)包括存储盒体(21)、工件盘(22)、晶振片组件(4)和第一驱动件，所述工件盘(22)上设置有多个用于放置晶振片组件(4)的存储工位(221)，所述存储工位(221)用于放置干净的晶振片组件(4)或用于放置更换后的晶振片组件(4)，所述第一驱动件用于控制所述工件盘(22)在所述存储盒体(21)内的运动；/n所述更换组件(3)用于从所述探头组件(1)中取下或安装上晶振片组件(4)。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶振片更换模块，其特征在于，包括：
探头组件(1)、存储组件(2)和更换组件(3)；
所述存储组件(2)包括存储盒体(21)、工件盘(22)、晶振片组件(4)和第一驱动件，所述工件盘(22)上设置有多个用于放置晶振片组件(4)的存储工位(221)，所述存储工位(221)用于放置干净的晶振片组件(4)或用于放置更换后的晶振片组件(4)，所述第一驱动件用于控制所述工件盘(22)在所述存储盒体(21)内的运动；
所述更换组件(3)用于从所述探头组件(1)中取下或安装上晶振片组件(4)。


2.根据权利要求1所述的晶振片更换模块，其特征在于，所述存储盒体(21)包括与所述更换组件(3)相匹配的第一开口(2111)以及与所述探头组件(1)相匹配的第二开口(2121)，所述第一开口(2111)与所述第二开口(2121)对应设置在所述存储盒体(21)上，所述工件盘(22)上的存储工位(221)设置有工位通孔(2211)，所述更换组件(3)能够贯穿所述第一开口(2111)和所述工位通孔(2211)，并将所述晶振片组件(4)送出所述第二开口(2121)。


3.根据权利要求2所述的晶振片更换模块，其特征在于，所述更换组件(3)包括顶柱(31)和夹持部(32)，所述顶柱(31)能够相对所述夹持部(32)运动，所述夹持部(32)能够夹持所述晶振片组件(4)的夹持耦合部(41)。


4.根据权利要求3所述的晶振片更换...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄稳，虞强龙，廖良生，武启飞，赵平，高永喜，冯敏强，
申请(专利权)人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32