用于具有主动柔顺性的测试头的操纵器制造技术

一种支承像电子测试头那样的负载的设备。力传感器检测从负载接收的力，该力来源于所述负载不平衡而绕所述负载的转轴产生转矩。力源响应力传感器检测的力，提供相对于负载的反力。还提供了一种把固定在测试头操纵器中的电子测试头与电子器件处理器对接的方法。该对接方法包括测量沿着或绕测试头操纵器的多根运动轴的至少一根的不平衡力的大小，以及为不平衡力提供反力。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及使测试头相对于一根或多根轴保持平衡的方法和设备。并且，本专利技术还提供了相对于一根或多根轴为测试头提供运动的柔顺范围(compliant range of motion)的方法和设备。
技术介绍
在集成电路、芯片、和晶片的测试中，习惯的做法是使用包括测试头和处理待测项目的仪器的系统。处理仪器可以是封装的器件处理器、晶片检测器、或其它设备。为了简便起见，我们将称这样的仪器为“器件处理器”或简称为“处理器”。测试头与处理器“对接”。然后，可以在测试头和集成电路之间建立电路连接，以便测试头可以进行适当的测试。一般说来，有两种对接方法，即，致动器驱动对接和操纵器驱动对接。公知为“致动器驱动”对接的技术首先公开在授予Smith的美国专利第4,589,815号(下文称为‘815)中，它的一些变型以后被开发出来，并公开在授予Ames的美国专利第5,654,631号、授予Bogden的第5,744,974号、授予Chiu等人的第5,982,182号、授予Slocum等人的第6,104,202号，和也授予Slocum等人的第5,821,764中。它们统统合并于此，以供参考。在一般意义本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种支承负载的设备，所述设备包括：支承结构，用于支承所述负载；驱动单元，用于沿着某一方向驱动所述支承结构；柔顺单元，用于向所述支承结构提供运动范围，由于所述驱动单元驱动所述支承结构，所述驱动单元改变所述运动范围所处的 位置；以及锁定器，用于当所述锁定器处在锁定状态时，把所述负载的位置保持在所述运动范围内的某一点上。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：尼尔O奈，亨利M阿库卡，阿利恩R霍尔特，
申请(专利权)人：英特斯特公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]