用于制造精确刚度的钟表热补偿游丝的方法技术

根据本发明专利技术的制造钟表游丝的方法包括以下连续步骤：a)在晶圆中形成游丝，b)在游丝上形成热补偿层，c)识别具有预定范围内的刚度的游丝，d)可选地，将步骤c)中识别的游丝从晶圆上分离，e)修改其他游丝，使得其他游丝中的至少一部分的刚度在预定范围内，f)从晶圆上分离这些其他游丝，并且如果步骤c)中识别的游丝在步骤d)中没有被分离，则从晶圆上分离该步骤c)中识别的游丝。这种方法使得可以减少游丝之间的制造分散。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于制造精确刚度的钟表热补偿游丝的方法
本专利技术涉及一种用于制造钟表热补偿游丝的方法，更确切地，涉及用于制造旨在与摆轮一起使用以与摆轮形成钟表机械振荡器的钟表热补偿游丝的方法。
技术介绍
EP1422436公开了一种钟表热补偿游丝，其包括芯和覆盖该芯的层，该层由弹性模量的热系数与芯的材料的弹性模量的热系数符号相反的材料形成。因此，层补偿芯的弹性模量根据温度的变化，并且该层的厚度可被选择为同样足以补偿摆轮的惯性矩的变化，以使振荡器的频率对温度不敏感。在典型的示例中，芯是单晶硅，而热补偿层是氧化硅。专利申请EP3181938和EP3181939描述了允许制造预定刚度的钟表游丝的方法。在根据EP3181938的方法中，a)形成尺寸大于获得预定刚度的游丝所需的尺寸的游丝，b)确定由此形成的游丝的刚度，c)计算为了获得预定刚度的游丝而待去除的材料的厚度，以及d)从步骤a)中形成的游丝中去除计算出的材料厚度。在根据EP3181939的方法中，a)形成尺寸小于获得预定刚度的游丝所需的尺寸的游丝，b)确定由此形成的游丝的刚度，c)计算获得预定刚度的游本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种制造钟表游丝的方法，包括以下连续步骤：/na)在晶圆中形成游丝，/nb)在所述游丝上形成热补偿层，/nc)识别具有预定范围内的刚度的游丝，/nd)可选地，将步骤c)中识别的游丝从所述晶圆上分离，/ne)修改其他游丝，使得所述其他游丝中的至少一部分的刚度在所述预定范围内，/nf)从所述晶圆上分离所述其他游丝，并且如果在所述步骤c)中识别的游丝在步骤d)中没有被分离，则从所述晶圆上分离所述步骤c)中识别的游丝。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180320 EP 18162723.31.一种制造钟表游丝的方法，包括以下连续步骤：
a)在晶圆中形成游丝，
b)在所述游丝上形成热补偿层，
c)识别具有预定范围内的刚度的游丝，
d)可选地，将步骤c)中识别的游丝从所述晶圆上分离，
e)修改其他游丝，使得所述其他游丝中的至少一部分的刚度在所述预定范围内，
f)从所述晶圆上分离所述其他游丝，并且如果在所述步骤c)中识别的游丝在步骤d)中没有被分离，则从所述晶圆上分离所述步骤c)中识别的游丝。


2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤e)在所述其他游丝上同时进行。


3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，步骤e)包括修改所述热补偿层。


4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其特征在于，步骤e)包括修改所述热补偿层的厚度。


5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，其特征在于，步骤e)包括增加所述热补偿层的厚度。...

【专利技术属性】
技术研发人员：弗雷德里克·梅勒，西尔万·让纳雷，
申请(专利权)人：百达翡丽日内瓦公司，
类型：发明
国别省市：瑞士;CH