【技术实现步骤摘要】
一种旋转台限位装置及其初始化方法
本专利技术涉及半导体硅片制造及检测领域，尤其涉及一种旋转台限位装置及其初始化方法。
技术介绍
在半导体硅片制造及检测领域，需要利用旋转台对硅片进行旋转定位，当旋转台内部线路及管路过多时，旋转台的无限制旋转会带来扯断线路或管路的风险，因此需要一种旋转台限位装置对旋转台的旋转运动进行限位同时保证旋转台的可旋转角度超过360°。现有的旋转台限位装置，占用空间较大，对于尺寸空间受限的小型旋转台而言，并不适用；而且，现有的旋转台限位装置，当旋转台置于具有大加速冲击的平面运动装置上时，其摆动件无法固定，产生的摆动将影响旋转台的定位精度。综上所述，为解决现有旋转限位机构尺寸过大且在平面运动大加速冲击情况下有摆动的问题，亟需提出一种旋转台限位装置及其初始化方法。
技术实现思路
基于以上所述，本专利技术的目的在于提供一种旋转台限位装置及其初始化方法，以解决现有技术中旋转限位机构尺寸过大且在平面运动大加速冲击下无法稳定固定的问题。为达上述目的，本专利技术采用以下技术方...
【技术保护点】
1.一种旋转台限位装置，其特征在于，包括：/n限位固定件(1)，包括底座(11)、导向件(12)、限位块(13)和磁性组件(14)，所述底座(11)被配置为安装于旋转台的固定组件(100)上，所述底座(11)设置有第一限位位置(111)和第二限位位置(112)，所述导向件(12)安装于所述底座(11)，所述限位块(13)与所述导向件(12)活动连接，所述限位块(13)能沿所述导向件(12)在所述第一限位位置(111)和所述第二限位位置(112)之间运动，所述磁性组件(14)用于使所述限位块(13)与所述第一限位位置(111)或所述第二限位位置(112)相吸附；/n限位触发件...
【技术特征摘要】
1.一种旋转台限位装置，其特征在于，包括：
限位固定件(1)，包括底座(11)、导向件(12)、限位块(13)和磁性组件(14)，所述底座(11)被配置为安装于旋转台的固定组件(100)上，所述底座(11)设置有第一限位位置(111)和第二限位位置(112)，所述导向件(12)安装于所述底座(11)，所述限位块(13)与所述导向件(12)活动连接，所述限位块(13)能沿所述导向件(12)在所述第一限位位置(111)和所述第二限位位置(112)之间运动，所述磁性组件(14)用于使所述限位块(13)与所述第一限位位置(111)或所述第二限位位置(112)相吸附；
限位触发件(2)，被配置为安装于所述旋转台的旋转组件(200)上，所述限位触发件(2)随所述旋转组件(200)转动时能与所述限位块(13)相接触，并带动所述限位块(13)沿所述导向件(12)在所述第一限位位置(111)和所述第二限位位置(112)之间运动。
2.根据权利要求1所述的旋转台限位装置，其特征在于，所述磁性组件(14)包括限位磁铁，所述限位磁铁安装于所述底座(11)和/或所述限位块(13)上。
3.根据权利要求2所述的旋转台限位装置，其特征在于，所述底座(11)还包括两个相对的安装座(113)，所述限位块(13)及所述导向件(12)均设于两个所述安装座(113)之间；所述第一限位位置(111)和所述第二限位位置(112)分别设于两个所述安装座(113)相对的两侧，两个所述限位磁铁分别安装于所述第一限位位置(111)和所述第二限位位置(112)。
4.根据权利要求2或3所述的旋转台限位装置，其特征在于，所述导向件(12)包括滑动连接的导轨(121)和滑块(122)，所述导轨(121)安装于所述限位块(13)和所述底座(11)两者中的一者，所述滑块(122)安装于所述限位块(13)和所述底座(11)两者中的另一者，所述限位块(13)能相对于所述底座(11)滑动。
5.根据权利要求2所述的旋转台限位装置，其特征在于，所述底座(11)还包括安...
【专利技术属性】
技术研发人员：袁嘉欣，江旭初，吴火亮，陈啸虎，汤成燕，
申请(专利权)人：上海隐冠半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
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