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本发明涉及半导体硅片制造及检测领域，公开一种旋转台限位装置及其初始化方法。旋转台限位装置包括限位固定件和限位触发件，限位固定件包括底座、导向件、限位块和磁性组件，底座被配置为安装于旋转台的固定组件上，底座设置有第一限位位置和第二限位位置，导...
该专利属于上海隐冠半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海隐冠半导体技术有限公司授权不得商用。

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