位姿检测方法及系统技术方案

本发明专利技术公开了一种位姿检测方法及系统。其中，位姿检测方法，包括：测待检测元件并生成检测信号；通过所述检测信号触发二维检测器件并对所述待检测元件的位置信息、姿态信息进行检测；测所述待检测元件的立体信息；据所述姿态信息、所述立体信息判断所述待检测元件是否为不良元件，并生成不良元件的位置信息；根据所述不良元件的位置信息对所述不良元件进行剔除。上述位姿检测方法通过检测半导体器件表面的参数，从而有效地检测半导体器件是否符合标准。

【技术实现步骤摘要】
位姿检测方法及系统
本专利技术涉及位姿检测
，尤其是涉及一种位姿检测方法及系统。
技术介绍
在半导体元器件的制造过程中，通过传统二维机器视觉对半导体元器件进行检测以确定元件参数是否符合预设标准。在相关技术中，通过二维AOI检测设备分析半导体器件的平面特征，无法准确地获取物体的空间坐标信息，以测量半导体器件的平面度、高度差、弯曲度等参数。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提出一种位姿检测方法，能够通过检测半导体器件表面的参数，从而有效地检测半导体器件是否符合标准并快速剔除不良元件。本专利技术还提出一种位姿检测系统。根据本专利技术的第一方面实施例的位姿检测方法，包括：检测待检测元件并生成检测信号；通过所述检测信号触发二维检测器件并对所述待检测元件的位置信息、姿态信息进行检测；检测所述待检测元件的立体信息；根据所述姿态信息、所述立体信息判断所述待检测元件是否为不良元件，并生成不良元件的位置信息；根据所述不良元件的位置信息对所述不良元件进本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.位姿检测方法，其特征在于，包括：/n检测待检测元件并生成检测信号；/n通过所述检测信号触发二维检测器件并对所述待检测元件的位置信息、姿态信息进行检测；/n检测所述待检测元件的立体信息；/n根据所述姿态信息、所述立体信息判断所述待检测元件是否为不良元件，并生成不良元件的位置信息；/n根据所述不良元件的位置信息对所述不良元件进行剔除。/n

【技术特征摘要】
1.位姿检测方法，其特征在于，包括：
检测待检测元件并生成检测信号；
通过所述检测信号触发二维检测器件并对所述待检测元件的位置信息、姿态信息进行检测；
检测所述待检测元件的立体信息；
根据所述姿态信息、所述立体信息判断所述待检测元件是否为不良元件，并生成不良元件的位置信息；
根据所述不良元件的位置信息对所述不良元件进行剔除。


2.根据权利要求1所述的位姿检测方法，其特征在于，还包括：
根据所述位置信息调整三维检测器件的位置，以检测所述待检测元件的立体信息。


3.根据权利要求2所述的位姿检测方法，其特征在于，还包括：
对所述待检测元件进行检测并生成第一平面点云数据；
根据所述第一平面点云数据提取平面矫正矩阵；
通过所述平面矫正矩阵对所述第一平面点云数据进行平面矫正并生成第二平面点云数据。


4.根据权利要求3所述的位姿检测方法，其特征在于，还包括：
根据所述第二平面点云数据生成二值灰度图像；
对所述二值灰度图像进行区域划分以生成若干单连通区域；
将若干所述单连通区域进行遍历分析并生成每一个单连通区域的偏差值；
对所述偏差值与预设阈值进行比较以判断所述待检测元件是否为不良元件。


5.根据权利要求4所述的位姿检测方法，其特征在于，所述预设阈值包括：第一坐标误差阈值、第二坐标误差阈值、角度误差阈值。


6.位姿检测系统，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭明，杨延竹，柳俊先，刘春燕，于波，张华，尹程斌，
申请(专利权)人：深圳市格灵人工智能与机器人研究院有限公司，深圳市格灵人工智能与机器人研究院，
类型：发明
国别省市：广东;44