图案检查装置及图案检查方法制造方法及图纸

一种图案检查装置，利用反射照明光与透射照明光，区分在图案的表面产生的凹坑与突起，只将凹坑作为不良检测出。该图案检查装置，根据对形成于光透射性基板（１）上的图案（２）照明的照明光的摄像图像，判断图案的合格与否，其包括：第１照明单元（３１），照射中心光线相对于基板大致垂直的照明光；第２照明单元（３２），从将设置于基板的背面侧的检查区域（６）向基板在法线方向上投影的区域之外，对基板照射照明光；摄像单元（３３），设置在与第１照明单元（３１）的照射方向相同的方向上；以及控制单元（４），控制第１照明单元与第２照明单元（３２）。控制单元同时进行第１照明单元和第２照明单元的照明，摄像单元拍摄同时被照明的图案。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及图案检査装置及图案检查方法，特别涉及检查在形成于TAB (Tape Automated Bonding)带等的光透射性的基板上的布线 图案等的图案表面上有无产生凹坑(坑)的图案检査装置及图案检查 方法。
技术介绍
以往，在布线图案的检査中，区别附着于基板表面或背面的污物 (异物)与布线图案的缺陷而防止误检测的方法或装置，例如被公开 于专利文献1或专利文献2。在上述公报中，记载了比较将来自形成 有布线图案的基板的反射照明光成像而得到的反射照明图像、和将来 自形成有布线图案的基板背面侧的透射照明光成像而得到的透射照 明图像，将其两者的画像中同时出现的不良点作为布线图案的缺陷的 技术。专利文献l:(日本)特开2004-61491号公报专利文献2:(日本)特开2005-24386号公报图11是表示具有形成于基板101上的被称为凹坑103的凹陷 (坑)或突起104的布线图案102的局部剖面图。通常，形成于基板101上的布线图案102的表面是平坦的。但是， 有时如图ll (a)所示地在形成于基板101上的布线图案102的表面 会产生凹坑103，或者如图11 (b)所示地在形成于基本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种图案检查装置，对形成于光透射性的基板上的图案照射照明光，根据拍摄照射了该照明光的区域的图像，判断所述图案的合格与否，其特征在于，该图案检查装置包括：　　　　第１照明单元，从形成于所述基板上的图案侧，照射中心光线相对于所述基板大致垂直的照明光；　　　　第２照明单元，在与形成于所述基板上的图案侧相反的一侧，从将被所述第１照明单元照明的区域按法线方向朝所述基板投影的区域之外，对所述基板照射照明光；　　　　摄像单元，相对于所述基板被设置在与所述第１照明单元的照明光的照射方向相同的方向；以及，　　　　控制单元，控制所述第１照明单元与所述第２照明单元；　　　　所述控制单元对所述基板同时进行所述第１照明...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：野本宪太郎，松田僚三，林宏树，
申请(专利权)人：优志旺电机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]