温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种图案检查装置，利用反射照明光与透射照明光，区分在图案的表面产生的凹坑与突起，只将凹坑作为不良检测出。该图案检查装置，根据对形成于光透射性基板（１）上的图案（２）照明的照明光的摄像图像，判断图案的合格与否，其包括：第１照明单元（３１），照...
该专利属于优志旺电机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过优志旺电机株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。