微机械感测装置制造方法及图纸

一种微机械感测装置包括可相对于基板运动的质量块。质量块包括第一至第三部分，第二部分与第一部分分离，第三部分连接第一部分与第二部分。框体设置于基板上并围绕质量块。多个弹簧连接质量块与框体。多个第一电极与第二电极从框体延伸出。多个第三电极从质量块的第一部分延伸出，并分别插入相邻的第一电极之间。多个第四电极从质量块的第二部分延伸出，并分别插入相邻的第二电极之间。第一支撑梁从框体延伸出，并伸入质量块的第一部分与第二部分之间。多个第七电极与第八电极从第一支撑梁延伸出。多个第五电极从质量块的第一部分延伸出，并分别插入相邻的第七电极之间。多个第六电极从质量块的第二部分延伸出，并分别插入相邻的第八电极之间。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种微机械装置，更具体地，涉及一种电容式微机械感测装置。
技术介绍
一般来说，现有的微机械制造技术包括通过薄膜沉积以及蚀刻技术在基 板层上进行一连串的增加以及移除若干材料层， 一直到所要的结构形成为 止。因此，微机械组件通常与其在大尺度下的对应结构有着相同的作用原理， 但与其大尺度下的对应结构相比较，微机械组件在设计上、性能上以及成本 上具有优势。此外，由于批量制造技术可应用于微机械组件，每单元的制造成本得以大量的降低。微机械结构经常用于例如加速度计或陀螺仪等的微机电惯性传感器中。 利用差动电容来侦测加速度的微机电加速度计通常包括三个主要的微机械 组件质量块、电容板以及支撑弹簧。参考图1，现有的差动电容式微机电加速度计100包括可动的质量块102，该质量块102由支撑弹簧104所支撑。 质量块102包括有多个电极108，由质量块102垂直向外延伸，并分别插入 多个由支撑梁112垂直延伸出的电极110的间隙内。上述组件利用常用的蚀 刻技术形成在基板118上的一个凹部116内，并可固定在下方的基板118上， 或者是固定在由基板118伸出的悬臂结构。电极108与110通常是本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微机械感测装置，包括：　基板；　质量块，可相对于该基板运动，该质量块包括第一部分、第二部分和第三部分，其中所述第二部分与所述第一部分分离，所述第三部分则连接所述第一部分和所述第二部分；　框体，设置于所述基板上，并围绕所述质量块；　多个弹簧，连接所述质量块与所述框体；　多个第一电极，从所述框体延伸出；　多个第二电极，从所述框体延伸出；　多个第三电极，从所述质量块的第一部分延伸出，并分别插入相邻的所述第一电极之间；　多个第四电极，从所述质量块的第二部分延伸出，并分别插入相邻的所述第二电极之间；　第一支撑梁，从所述框体延伸出，并伸入至所述质量块的第一部分与第二部分之间的区域内；　多个第七电极，从...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：王传蔚，
申请(专利权)人：原相科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[]