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一种微机械感测装置包括可相对于基板运动的质量块。质量块包括第一至第三部分，第二部分与第一部分分离，第三部分连接第一部分与第二部分。框体设置于基板上并围绕质量块。多个弹簧连接质量块与框体。多个第一电极与第二电极从框体延伸出。多个第三电极从质量...
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