加速度传感器机芯制造技术

本实用新型专利技术涉及一种加速度传感器机芯，包括设置于壳体内的能量转换装置和阻尼装置，阻尼装置为磁排斥阻尼装置，设置于能量转换装置的端部，磁排斥阻尼装置由一对的Ⅰ磁铁与Ⅱ磁铁构成，构成磁排斥阻尼装置的Ⅱ磁铁固定于能量转换装置的端部，与Ⅱ磁铁可形成磁力作用且位置相应的Ⅰ磁铁通过支架支撑于壳体上。本实用新型专利技术解决了背景技术中系统阻尼受介质、温度等因素影响大，调节、控制不便以及成本较高的技术问题。本实用新型专利技术阻尼充足，灵敏度高，阻尼力大小易于定量控制、调节，稳定性好，产品成本较低。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种加速度传感器机芯。
技术介绍
加速度传感器机芯振动系统的阻尼，是影响传感器信号分辨率的重要参数。 系统阻尼不足，振动的子波振动周期会过多，导致传感器信号分辨率低、信号质 量差。目前，提高阻尼的实现方式主要有机械阻尼、包括含空气及脂类的流体阻 尼、电阻尼以及磁涡流阻尼等。机械阻尼，是通过增加振动系统的摩擦力和提高振动弹簧的刚性实现的，缺 点是系统的有效能量损失较多，不易定量控制。流体阻尼，成本相对较低，但其线性度易受温度变化影响，同时由于阻尼介 质与压电元件需要直接接触，阻尼介质会腐蚀电压元件的银层表面。电阻尼，是通过并连分流电阻实现的，成本虽低，但分流电阻使有效信号的 灵敏度降低，且阻尼要求越高，灵敏度的能量损失越大。磁涡流阻尼，可量化，且不受温度影响，但成本高，同时对相关阻尼零件的 机械加工精度要求很高，成型后阻尼不可调节。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种加速度传感器机芯，其解决了
技术介绍
中系 统阻尼受介质、温度等因素影响大，调节、控制不便以及成本较高的技术问题。 本技术的技术方案是一种加速度传感器机芯，包括壳体4，设置于壳体4内的能量转换装置6和阻尼装置，其特殊之处在于所述的阻尼装置为磁排斥阻尼装置1，该磁排斥阻 尼装置1设置于能量转换装置6的端部；所述的磁排斥阻尼装置1由一对的I磁铁3与II磁铁5构成，所述构成磁排斥阻尼装置1的II磁铁5固定于能量转换装 置6的端部，与II磁铁5可形成磁力作用且位置相应的I磁铁3通过支架2支撑于壳体4上。上述磁排斥阻尼装置1可采用一组，其设置于能量转换装置6的一端。 上述磁排斥阻尼装置1可采用两组，其分别设置于能量转换装置6的两端。上述I磁铁3可通过螺栓8、铆钉或粘胶等固定于支架2上，以螺栓8固定为佳。上述I磁铁3与支架2之间可设置调节I磁铁3与II磁铁5之间磁力大小的调节垫片7。上述壳体4与端盖10结合的缝隙处可设置有密封圈9。 上述II磁铁5以嵌套固定于能量转换装置6的端部为宜。本技术具有以下优点1. 系统阻尼充足，灵敏度高，传感器信号分辨率高、信号质量佳。2. 阻尼力大小可调，易于定量控制，生产调试方便。3. 阻尼线性度不受介质以及外界温度变化的影响，稳定性好。4. 系统的有效能量损失少，零部件机械加工精度要求低，产品成本较低。附图说明图1为本技术的结构示意图。附图标号说明1-磁排斥阻尼装置，2-支架，3-I磁铁，4-壳体，5-II磁铁， 6-能量转换装置，7-调节垫片，8-螺栓，9-密封圈，10-端盖。具体实施方式本技术的阻尼装置采用磁排斥阻尼装置1，在能量转换装置6运动时， 构成磁排斥阻尼装置1的I磁铁3与II磁铁5会产生排斥力，从而可减少能量转 换装置6的振动幅度和次数，达到阻尼效果。参见图l，本技术的能量转换装置6和阻尼装置设置于壳体4内，磁排 斥阻尼装置1设置于能量转换装置6的端部。磁排斥阻尼装置1可釆用一组，设置于能量转换装置6的一端。磁排斥阻尼 装置1也可采用两组，分别设置于能量转换装置6的两端。磁排斥阻尼装置l由一对I磁铁3与II磁铁5构成，n磁铁5固定于能量转换装置6的端部，以嵌套固定于能量转换装置6的端部为宜。具体可先将n磁铁5中心或底部的凸起、或II磁铁5下部嵌于能量转换装置6端部的凹槽内，再将二者固连为一体。也可将n磁铁5的中心 L、或n磁铁5底部的凹槽套于能量转换装置6端部的凸柱、凸台上，再将二者固连为一体。I磁铁3通过支架2支撑于壳体4上。I磁铁3与II磁铁5的位置相应，二 者可形成磁力作用，即磁吸引、排斥力作用。I磁铁3与II磁铁5可选用钕铁硼 或铝镍钴材料，以降低制造成本。I磁铁3可通过螺栓8、铆钉或粘胶等固定于支架2上，以螺栓8固定为佳。 I磁铁3与支架2之间可设置调节垫片7，通过调节I磁铁3与II磁铁5之间的 距离，以调节I磁铁3与II磁铁5之间的排斥力的大小，从而实现磁排斥阻尼装 置1阻尼力大小的调节。调节垫片7主要用于生产调试。壳体4与端盖10结合的缝隙处可设置密封圈9。权利要求1.一种加速度传感器机芯，包括壳体(4)，设置于壳体(4)内的能量转换装置(6)和阻尼装置，其特征在于所述的阻尼装置为磁排斥阻尼装置(1)，该磁排斥阻尼装置(1)设置于能量转换装置(6)的端部；所述的磁排斥阻尼装置(1)由一对的I磁铁(3)与II磁铁(5)构成，所述构成磁排斥阻尼装置(1)的II磁铁(5)固定于能量转换装置(6)的端部，与II磁铁(5)可形成磁力作用且位置相应的I磁铁(3)通过支架(2)支撑于壳体(4)上。2. 根据权利要求1所述的加速度传感器机芯，其特征在于所述的磁排斥阻 尼装置(1)为一组，其设置于能量转换装置(6)的一端。3. 根据权利要求1所述的加速度传感器机芯，其特征在于所述的磁排斥阻 尼装置(1)为两组，其分别设置于能量转换装置(6)的两端。4. 根据权利要求1或2或3所述的加速度传感器机芯，其特征在于所述的 I磁铁(3)通过螺栓(8)、铆钉或粘胶固定于支架(2)上。5. 根据权利要求4所述的加速度传感器机芯，其特征在于所述的I磁铁(3) 与支架(2)之间设置有调节垫片(7)。6. 根据权利要求1所述的加速度传感器机芯，其特征在于所述壳体(4) 与端盖(10)结合的缝隙处设置有密封圈(9)。7. 根据权利要求6所述的加速度传感器机芯，其特征在于所述的II磁铁(5) 嵌套固定于能量转换装置(6)的端部。专利摘要本技术涉及一种加速度传感器机芯，包括设置于壳体内的能量转换装置和阻尼装置，阻尼装置为磁排斥阻尼装置，设置于能量转换装置的端部，磁排斥阻尼装置由一对的I磁铁与II磁铁构成，构成磁排斥阻尼装置的II磁铁固定于能量转换装置的端部，与II磁铁可形成磁力作用且位置相应的I磁铁通过支架支撑于壳体上。本技术解决了
技术介绍
中系统阻尼受介质、温度等因素影响大，调节、控制不便以及成本较高的技术问题。本技术阻尼充足，灵敏度高，阻尼力大小易于定量控制、调节，稳定性好，产品成本较低。文档编号G01P15/08GK201075113SQ20072003198公开日2008年6月18日 申请日期2007年6月8日 优先权日2007年6月8日专利技术者军 朱 申请人:军 朱本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种加速度传感器机芯，包括壳体（４），设置于壳体（４）内的能量转换装置（６）和阻尼装置，其特征在于：所述的阻尼装置为磁排斥阻尼装置（１），该磁排斥阻尼装置（１）设置于能量转换装置（６）的端部；所述的磁排斥阻尼装置（１）由一对的Ⅰ磁铁（３）与Ⅱ磁铁（５）构成，所述构成磁排斥阻尼装置（１）的Ⅱ磁铁（５）固定于能量转换装置（６）的端部，与Ⅱ磁铁（５）可形成磁力作用且位置相应的Ⅰ磁铁（３）通过支架（２）支撑于壳体（４）上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：朱军，
申请(专利权)人：朱军，
类型：实用新型
国别省市：87[中国|西安]