【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本技术涉及用于车辆、测量仪器、机器人及航空航天等方面的传感器领域，尤其是涉及汽车气囊安全系统和底盘控制的厚膜三轴向加速度传感器。本技术的
技术介绍
是近年来在汽车工业上对三轴向加速度传感器的需求越来越高，以半导体微机械加工技术制作的压阻式三轴向加速度传感器应运而生。该类产品具有体积小、重量轻的优点，同时在敏感桥路设计上可以采用结构上消除各轴向间耦合干扰的方案，操作上也便于批量生产。然而，由于半导体材料所固有的缺点，传感器的零点温度漂移和灵敏度温度漂移均较大，并且不宜使用在80℃以上，如若克服以上缺点，则传感器制造的成本将会大幅度上升。此外，要想获得高灵敏度的三轴向加速度传感器，就必然要将弹性形变膜的厚度设计的非常薄，这使操作过程的控制十分困难。本技术的目的是提供一种在对传感器的体积和重量的限制不严格的使用场合下，可以采用传统的厚膜操作、以机械性能优良的陶瓷材料替代半导体硅材料去制作对三轴向的加速度失量或力失量敏感的传感器。厚膜力敏电阻的温度特性可实现消除三轴向之间机械耦合的敏感桥路设计，对调整传感器和频率响应也十分灵活。本技术的技术方案是一种厚膜三轴向传感器，包...
【技术保护点】
一种厚膜三轴向传感器，包括其敏感元件和与其电连接的Ｘ、Ｙ、Ｚ轴向桥路，其特征在于：所述的敏感元件被置于陶瓷圆膜片（２）上，其中Ｘ轴向桥路的敏感元件与Ｙ轴向桥路的敏感元件相互垂直设置，Ｚ轴向桥路的敏感元件与Ｘ轴向或Ｙ轴向的敏感元件呈４５度 设置，且Ｘ轴向、Ｙ轴向、Ｚ轴向桥路中的敏感元件为等间距设置；所述的与其电连接的Ｘ、Ｙ、Ｚ轴向桥路连接是：对应于Ｘ、Ｙ轴向桥路的电阻Ｒ２、Ｒ３和Ｒ１、Ｒ４组成全桥，桥压加在Ｒ１、Ｒ２和Ｒ４、Ｒ３的连接点上，Ｒ２、Ｒ３和Ｒ１、Ｒ４的连接点引 出输出信号，对应于Ｚ轴向桥路的电阻Ｒ１、Ｒ３和Ｒ２、Ｒ４组成全桥，桥压加在Ｒ１、Ｒ２和Ｒ３、...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
【专利技术属性】
技术研发人员：戈瑜，倪礼宾，马军，王英先，申飞，虞承端，吴仲诚，
申请(专利权)人：中国科学院合肥智能机械研究所，
类型：实用新型
国别省市：34[中国|安徽]
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