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一种厚膜三轴向传感器，包括其敏感元件和与其电连接的Ｘ、Ｙ、Ｚ轴向桥路，敏感元件部分包括外边缘的固支结构、陶瓷圆膜片、小瓷环和质量块。在改变敏感元件设计时，敏感元件和Ｘ、Ｙ、Ｚ轴向桥路组合成的Ｅ型膜片。厚膜力敏电阻的温度特性和桥路设计可消除三...
该专利属于中国科学院合肥智能机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院合肥智能机械研究所授权不得商用。

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