一种高分辨率微纳光学加速度计制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高分辨率、大动态范围微纳光学加速度计。微光学波导阵列板或柱透镜阵列板设置在加速度计质量块上，波导阵列板上刻有条状透明波导阵列或在柱透镜阵列板上刻有条状透明柱透镜阵列，微纳米直径光纤的普通光纤段与光源耦合，输出段与阵列板平行或垂直靠近，光敏元件与微纳米直径光纤同轴设置，光敏元件的输出信号接在信号处理电路板的前置放大器的输入端，驱动器与加速度计质量块之间机械连接，信号处理电路板的信号输出端与驱动器电信号连接。本实用新型专利技术可将加速度计分辨率的数量级提高到１０↑［６］左右，且动态范围大，结构简单，可靠性好。适用于要求高分辨率的场合如飞行器，车辆或船只的惯性制导，重力加速度的精密测量等。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种高分辨率微纳光学加速度计，其特征在于：包括微纳米直径光纤（１）、微光学波导阵列板（２）、加速度计质量块（３）、光源（５）、光敏元件（６）、信号处理电路板（７）和驱动器（８）；其中微光学波导阵列板（２）设置在加速度计质量块（３）上，微光学波导阵列板（２）上刻有条状透明波导阵列，微纳米直径光纤（１）由普通光纤段、拉锥耦合过渡段、微纳米直径输出段组成，普通光纤段与光源（５）耦合，微纳米光纤输出段与微光学波导阵列板（２）平行靠近，光敏元件（６）同轴设置在微纳米直径光纤的输出口，光敏元件（６）的输出信号接在信号处理电路板（７）的前置放大器的输入端，驱动器（８）与加速度计质量块（３）之间机械连接，信号...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：倪玮，吴兴坤，李书，林巧，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：实用新型
国别省市：86[中国|杭州]