微粒分析装置、微粒分析系统以及清洗方法制造方法及图纸

为了在不将微粒分析装置停止、分解的情况下清洗微粒分析装置的内部，该微粒分析装置的特征在于，具有：旋流集尘装置(14)；一级过滤器(16)，其与旋流集尘装置(14)的下游连接，并被加热；气体分析装置(31)，其与一级过滤器(16)连接；气体配管部，其将旋流集尘装置(14)与气体分析装置(31)连接，并设置有一级过滤器(16)；以及清洗气体导入装置(21)，其向气体配管部中的一级过滤器(16)的下游以及旋流集尘装置(14)中的至少一方导入清洗气体，在至少清洗一级过滤器(16)的清洗模式时，与利用气体分析装置(31)进行微粒的分析的分析模式时相比从清洗气体导入装置(21)导入的清洗气体的流量上升。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】微粒分析装置、微粒分析系统以及清洗方法
本专利技术涉及微粒分析装置、微粒分析系统以及清洗方法的技术。
技术介绍
在光学领域、环境领域等，对附着于检查对象物的微粒的物质进行分析。特别是，在环境领域，为了掌握环境污染的状态，而谋求对附着物迅速、实时地进行测量并且高灵敏度地进行测量的分析装置。另外，在工业领域，以生产过程的管理、品质管理为目的，而谋求对附着于工业产品的附着物成分迅速、实时地进行测量并且高灵敏度地进行测量的分析装置。在安全领域，在机场等使用对附着于乘客的手、货物的微粒是否为危险物进行分析的装置。另外，不仅附着物微粒，还需要对大气中的微粒进行分析的装置。例如，对成为大气污染的问题的PM2.5等微粒的成分进行分析很重要。例如，在专利文献1中，公开有“利用来自送气部5的气流使附着于认证对象2的检测对象物质的气体和/或微粒剥离，抽吸剥离了的样本，利用微粒捕集部10浓缩而捕集，利用离子源部21生成样本的离子，利用质量分析部23进行质量分析。根据得到的质量频谱判断有无出自检测对象物质的质量频谱，将其结果显示于显示部27，从而对附着于本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微粒分析装置，其特征在于，/n所述微粒分析装置具有：/n旋流集尘部；/n过滤器部，其与所述旋流集尘部的下游连接，并被加热；/n气体分析部，其与所述过滤器部连接；/n气体配管部，其将所述旋流集尘部与所述气体分析部连接，并设置有所述过滤器部；以及/n清洗气体导入部，其向所述气体配管部中的所述过滤器部的下游以及所述旋流集尘部中的至少一方导入清洗气体，/n在至少清洗所述过滤器部的清洗模式时，与利用所述气体分析部进行微粒的分析的分析模式时相比，从所述清洗气体导入部导入的所述清洗气体的流量上升。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180330 JP 2018-0680831.一种微粒分析装置，其特征在于，
所述微粒分析装置具有：
旋流集尘部；
过滤器部，其与所述旋流集尘部的下游连接，并被加热；
气体分析部，其与所述过滤器部连接；
气体配管部，其将所述旋流集尘部与所述气体分析部连接，并设置有所述过滤器部；以及
清洗气体导入部，其向所述气体配管部中的所述过滤器部的下游以及所述旋流集尘部中的至少一方导入清洗气体，
在至少清洗所述过滤器部的清洗模式时，与利用所述气体分析部进行微粒的分析的分析模式时相比，从所述清洗气体导入部导入的所述清洗气体的流量上升。


2.根据权利要求1所述的微粒分析装置，其特征在于，
当所述过滤器部的下游处的压力成为规定的值以下时，从所述分析模式转变至所述清洗模式。


3.根据权利要求1所述的微粒分析装置，其特征在于，
在从前次的清洗时起经过了规定时间时，从所述分析模式转变至所述清洗模式。


4.根据权利要求1所述的微粒分析装置，其特征在于，
所述微粒分析装置具有吸气部，所述吸气部抽吸所述旋流集尘部的内部的空气，
在所述分析模式与所述清洗模式中，在所述清洗模式时增大所述吸气部的抽吸流量。


5.根据权利要求1所述的微粒分析装置，其特征在于，
从所述清洗气体导入部导入内部标准物质以及敏化剂中的至少一方。


6.根据权利要求1所述的微粒分析装置，其特征在于，
在配置于所述旋流集尘部的排气侧、且与所述旋流集尘部连接的抽吸配管部的内部具备与所述清洗气体导入部连接的气体喷嘴部。


7.根据权利要求6所述的微粒分析装置，其特征在于，
所述气体喷嘴部配置于所述过滤器部的正上方。


8.根据权利要求6所述的微粒分析装置，其特征在于，
所述清洗气体导入部设置于所述气体配管部。


9.根据权利要求1所述的微粒分析装置，其特征在于，
所述气体配管部弯曲，
所述清洗气体导入部以由所述清洗气体导入部导入的所述清洗气体不会流入到所述气体分析部的方式设置于所述气体配管部。


10.根据权利要求1所述的微粒分析装置，其特征在于，
所述微粒分析装置具有微粒抽吸部，所述微粒抽吸部抽吸向所述旋流集尘部导入的...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊野峻，永野久志，伊藤孝广，水野弘基，野尻辰夫，杉山益之，
申请(专利权)人：株式会社日立制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP