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为了在不将微粒分析装置停止、分解的情况下清洗微粒分析装置的内部，该微粒分析装置的特征在于，具有：旋流集尘装置(14)；一级过滤器(16)，其与旋流集尘装置(14)的下游连接，并被加热；气体分析装置(31)，其与一级过滤器(16)连接；气体配...
该专利属于株式会社日立制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社日立制作所授权不得商用。

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